特許
J-GLOBAL ID：200903075463470818

磁界型エネルギーフィルタ

発明者：
津野 勝重

津野 勝重 について

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エリック ムンロ

エリック ムンロ について

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ジョン ローズ

ジョン ローズ について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-155923
公開番号（公開出願番号）：特開2001-052644
出願日： 2000年05月26日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 ビームパスを長くし偏向角の絶対値の合計を大きくすると共に、コンパクトな形状を実現する。【解決手段】 複数の磁界領域M1〜M4を有し入射窓Iから出射スリットSまでの電子ビームの軌道を偏向する磁界型エネルギーフィルタにおいて、少なくとも4個の磁界領域M1〜M4を有し、2個目M2と3個目M3の磁界領域の中間に位置する回転対称軸を境にして磁界の極性が反転し、入射窓と出射スリットを結ぶ直線の左右両側に偏向磁石M1〜M4を有し、各磁界領域M1〜M4のビーム偏向角の絶対値の合計を540°超あるいはおよそ720°とする。これにより、従来のオメガエネルギーフィルタやアルファエネルギーフィルタに比べて、ピームパスを長くし偏向角の絶対値の合計を大きくすると共に、入射窓面Iから出射スリット面Sまでの距離Dを短くし、コンパクトな形状を実現できる。
請求項（抜粋）：
複数の磁界領域(magnetic fields)を有し入射窓(entrance window)から出射スリット(exit slit)までの電子ビームの軌道を偏向する磁界型エネルギーフィルタにおいて、少なくとも4個の磁界領域を有し、2個目と3個目の磁界領域の中間位置に回転対称軸(rotational symmetry axis)を有し、2個目と3個目の磁界領域の間を境にして磁界の極性が反転している磁界型エネルギーフィルタ。
IPC (2件)：
H01J 49/44 ,  H01J 37/05
FI (2件)：
H01J 49/44 ,  H01J 37/05
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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