特許
J-GLOBAL ID:200903075543388390
感光性樹脂組成物、遮光性カラーフィルター及びその製造方法、並びに、固体撮像素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
野口 恭弘
, 深海 明子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-093231
公開番号(公開出願番号):特開2009-244736
出願日: 2008年03月31日
公開日(公表日): 2009年10月22日
要約:
【課題】ウエハ上の塗布膜厚の均一性に優れる遮光性カラーフィルターを与える感光性樹脂組成物を提供することである。さらに、前記感光性樹脂組成物により形成された遮光性カラーフィルター及びその製造方法、並びに、固体撮像素子を提供すること。【解決手段】(A)チタンブラック、(B)重合性化合物、(C)樹脂、(D)光重合開始剤、(E)シリコーン系界面活性剤及び/又はフッ素系界面活性剤、並びに、(F)有機溶剤、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。前記感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターンを有することを特徴とする遮光性カラーフィルター。前記遮光性カラーフィルターを備えたことを特徴とする固体撮像素子。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)チタンブラック、
(B)重合性化合物、
(C)樹脂、
(D)光重合開始剤、
(E)シリコーン系界面活性剤及び/又はフッ素系界面活性剤、並びに、
(F)有機溶剤、を少なくとも含有することを特徴とする
感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/004
, G03F 7/031
, G02B 5/20
FI (4件):
G03F7/004 504
, G03F7/004 505
, G03F7/031
, G02B5/20 101
Fターム (18件):
2H025AA18
, 2H025AB13
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC43
, 2H025CA07
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CC03
, 2H025CC04
, 2H025CC12
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H048BB46
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (13件)
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