特許
J-GLOBAL ID：200903075560780562

テープ貼り機

発明者：
増田 幸容

増田 幸容 について

, 
星野 仁志

星野 仁志 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-334043
公開番号（公開出願番号）：特開2007-142158
出願日： 2005年11月18日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】作業者の個人差が生じず、気泡の介在を防止できるテープ貼り機を提供する。【解決手段】ハウジング2と、ウエーハ10を保持する保持面に開口する吸引孔322を備えたウエーハ保持部32を具備するチャックテーブル3と、上面に環状のフレーム7を保持するフレーム保持部を備え、フレーム保持部の内側にウエーハ保持部を遊嵌する嵌挿穴52を備えたウエーハ位置決め枠体5と、ウエーハ位置決め枠体の上面に向けて押圧する押圧部材61とフレーム保持部とでフレームを挟持する環状のフレーム押さえ部621dを備えた押圧手段6と、チャックテーブルをウエーハ位置決め枠体に対して進退せしめる進退手段4と、第1の減圧手段7a、第2の減圧手段7b、第3の減圧手段7cとを具備している。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
環状のフレームに装着された粘着テープにウエーハを貼着するテープ貼り機であって、 上面が開放したハウジングと、 該ハウジング内に配設されウエーハを吸引保持する保持面を有し該保持面に開口する吸引孔を備えたウエーハ保持部を具備するチャックテーブルと、 該チャックテーブルの上側に配設され上面に該環状のフレームを保持するフレーム保持部を備えるとともに、該フレーム保持部の内側に該ウエーハ保持部を遊嵌する嵌挿穴を備えたウエーハ位置決め枠体と、 該ウエーハ位置決め枠体の上面に向けて押圧する押圧部材と、該押圧部材の外側に形成され該フレーム保持部とで該環状のフレーを挟持するフレーム抑え部を備えた押圧手段と、 該チャックテーブルを該ウエーハ位置決め枠体に対して進退せしめる進退手段と、 該ハウジング内に連通された第1の減圧手段と、 該チャックテーブルの該吸引孔に連通された第2の減圧手段と、 該押圧手段における該フレーム抑え部の内側に形成される室に連通された第3の減圧手段と、を具備している、 ことを特徴とするテープ貼り機。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (12件)：
5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031DA15 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA42 ,  5F031HA46 ,  5F031HA58 ,  5F031KA03 ,  5F031KA20 ,  5F031LA15 ,  5F031MA37
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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