特許
J-GLOBAL ID:200903075574778579
熱遮蔽素子とその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
坂上 正明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-213176
公開番号(公開出願番号):特開2002-022901
出願日: 2000年07月13日
公開日(公表日): 2002年01月23日
要約:
【要約】【課題】 サファイヤを原料として光を透し、熱を遮蔽する素子を作成する場合に円柱形サファイヤ製造で製造されたサファイヤ材を使用する事で素子の厚み、結晶方位に対しての自由度を持たせ、多用な熱遮蔽素子を作成すること。また、光学部品として透過光を歪ませることのない表面粗さや平坦度等の特性を持たせること。【解決手段】 サファイヤインゴット8上に正確な方位の基準面9を設け、その基準面9を基準にインゴット8のスライスや端面の切削加工を行い、両面同時研磨加工方法により厚みや結晶方位に自由度を持たせたサファイヤ製熱遮蔽素子を製造する。
請求項(抜粋):
サファイヤインゴット上に結晶方位面と平行に指定された幅の第1基準面を加工する工程と、前記第1基準面を有する前記サファイヤインゴットを結晶面指定方位に従って切り出し、ブランクを取り出す工程と、前記ブランクに、前記第1基準面とは反対側に、指定された間隔で前記第1基準面と平行な面である第2基準面を付ける工程と、前記ブランクを指定された大きさの長方形になる様に、前記第1基準面に対して両端面の加工を行い、長方形のブランクを得る工程と、前記ブランクに、厚み揃えと平行出しを行う粗研磨工程と、前記ブランクの周辺を面取りする工程と、前記ブランクの表面粗さを整える中間研磨工程と、前記ブランクを化学研磨する工程と、前記ブランクを洗浄する工程と、前記ブランクを検査する工程と、からなることを特徴とする熱遮蔽素子の製造方法。
IPC (6件):
G02B 1/02
, B24B 1/00
, B28D 5/02
, H01L 21/304 611
, H01L 21/304
, H01L 23/36
FI (7件):
G02B 1/02
, B24B 1/00 A
, B28D 5/02 Z
, H01L 21/304 611 S
, H01L 21/304 611 B
, H01L 21/304 611 A
, H01L 23/36 Z
Fターム (15件):
3C049AA03
, 3C049AA18
, 3C049CA05
, 3C049CB01
, 3C069AA01
, 3C069BA04
, 3C069BB02
, 3C069BB04
, 3C069BC01
, 3C069CA02
, 3C069CB02
, 3C069DA06
, 3C069EA01
, 3C069EA02
, 5F036AA00
引用特許:
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