特許
J-GLOBAL ID：200903075591103682
光源装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-093544
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289694
出願日： 1997年04月11日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 ケーシング内に残留する酸素の濃度が所期のレベルに安定に維持され、誘電体バリア放電ランプからのエキシマ光を高い効率で放射することのできる光源装置を提供すること。【解決手段】 誘電体バリア放電によりエキシマが生成されてエキシマ光が放出される誘電体バリア放電ランプ10と、この誘電体バリア放電ランプ10を収納し、当該誘電体バリア放電ランプ10からのエキシマ光を取り出す窓部材23を有するケーシング20と、このケーシング20内に不活性ガスを流通させるガス流通手段30とを具えてなる光源装置において、前記ガス流通手段30により、前記ケーシング20内のガス圧力が大気圧より100Pa以上大きい値となるよう、当該ケーシング20内に不活性ガスが流通されることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
誘電体バリア放電によりエキシマが生成されてエキシマ光が放出される誘電体バリア放電ランプと、この誘電体バリア放電ランプを収納し、当該誘電体バリア放電ランプからのエキシマ光を取り出す窓部材を有するケーシングと、このケーシング内に不活性ガスを流通させるガス流通手段とを具えてなる光源装置において、前記ガス流通手段により、前記ケーシング内のガス圧力が大気圧より100Pa以上大きい値となるよう、当該ケーシング内に不活性ガスが流通されることを特徴とする光源装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 65/04 A
, G21K 5/00 Z
