集積レーザ素子および光ビーム走査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-276398
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183621
出願日： 1994年11月10日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】スキャニング方式のパルスレーザ測距装置などに適用する、電気的な走査が可能な光ビーム走査装置、および光ビーム走査装置の高出力パルス光源として用いられる集積レーザ素子を提供する。【構成】集積レーザ素子10は、一次元のアレイ状に配列された複数個のパルスレーザダイオード(LD)20と、LD20の出力光を光増幅する単一または複数の光アンプ30とを半導体基板上に集積化して構成される。また、光ビーム走査装置は、上述の集積レーザ素子10と、光アンプ30をパルス駆動する光アンプ駆動回路と、光アンプ駆動回路と同期して複数個のLDを順次パルス駆動するLD駆動回路と、集積レーザ素子10から放射されたレーザ高を出射する出射光学系(出射レンズ40を含む)とを少なくとも備えている。

請求項（抜粋）：

一次元のアレイ状に配列された複数のパルスレーザダイオードと、前記複数のパルスレーザダイオードの出力光を光増幅する半導体光アンプとを半導体基板上に集積化した集積レーザ素子。

IPC (5件)：

H01S 3/18 , G01S 7/48 , G01S 17/10 , H01L 27/15 , H01S 3/25

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-070711
光アレースクリーニング装置及び光アレースクリーニング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-051999 出願人：富士通株式会社
特開平2-156592

全件表示

前のページに戻る