特許
J-GLOBAL ID:200903075676775639

ガスバリアフィルムおよびこれを用いた有機デバイス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-273810
公開番号(公開出願番号):特開2007-083493
出願日: 2005年09月21日
公開日(公表日): 2007年04月05日
要約:
【課題】 高いバリア性と透明性とを有し、且つバリア性能の経時安定性に優れるという特性を併せ持つガスバリアフィルムおよびこれを用いた有機デバイスを提供する。【解決手段】 透明可撓性支持体基板2と、無機薄膜からなる最外ガスバリア層3と、金属窒化物または金属炭化物からなる無機薄膜保護層6とをこの順で有し、且つ、透明可撓性支持体基板2と最外ガスバリア層3との間に、中間層4Aおよび4Bと、無機薄膜からなる中間ガスバリア層5と、を有するガスバリアフィルム1であって、無機薄膜保護層6が最外ガスバリア層3の表面に接するように設けられており、且つ、無機薄膜保護層6の水素および酸素の含有量が、無機薄膜保護層6を構成する前記金属窒化物または金属炭化物の金属原子に対してそれぞれ20原子%以下であることを特徴とするガスバリアフィルム。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
透明な可撓性支持体基板と、無機薄膜からなる最外ガスバリア層(A)と、金属窒化物または金属炭化物からなる無機薄膜保護層(D)とをこの順で有し、且つ、前記可撓性支持体基板と前記最外ガスバリア層(A)との間に、少なくとも1層の中間層(B)と、少なくとも1層の無機薄膜からなる中間ガスバリア層(C)と、を有するガスバリアフィルムであって、 前記無機薄膜保護層(D)が前記最外ガスバリア層(A)の表面に接するように設けられており、且つ、前記無機薄膜保護層(D)の水素および酸素の含有量が、前記無機薄膜保護層(D)を構成する前記金属窒化物または金属炭化物の金属原子に対してそれぞれ20原子%以下であることを特徴とするガスバリアフィルム。
IPC (3件):
B32B 9/00 ,  C23C 16/42 ,  C23C 14/06
FI (3件):
B32B9/00 A ,  C23C16/42 ,  C23C14/06 E
Fターム (46件):
4F100AA01B ,  4F100AA01C ,  4F100AA01D ,  4F100AA12B ,  4F100AA12C ,  4F100AA12D ,  4F100AA12E ,  4F100AA15E ,  4F100AA17B ,  4F100AA17C ,  4F100AK41 ,  4F100AR00B ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA08 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10E ,  4F100BA25E ,  4F100GB41 ,  4F100JD02C ,  4F100JD02D ,  4F100JD04 ,  4F100JN01A ,  4F100YY00E ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA56 ,  4K029BA58 ,  4K029BC08 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC03 ,  4K029DC05 ,  4K029EA01 ,  4K030AA06 ,  4K030AA14 ,  4K030AA18 ,  4K030BA35 ,  4K030BA40 ,  4K030BB12 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030FA01 ,  4K030HA03 ,  4K030LA02 ,  4K030LA18
引用特許:
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (4件)
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