薄膜ガスセンサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森田雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-312840
公開番号（公開出願番号）：特開2008-128773
出願日： 2006年11月20日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：

【課題】ガス感応部の酸素吸着量を一定にして、ガス感応部のセンサ抵抗値の経時変化を抑止し、経時安定性の確保を実現するパルス駆動用の薄膜ガスセンサを提供する。【解決手段】SnO2層521と、酸素供給性物質(セリア・ジルコニア固溶体(CeZrO4)またはセリア(CeO2))による酸素貯蔵層522と、を交互に積層した積層構造によるガス感応層52を搭載することで、ガス感応層52の全域にわたって酸素が行き渡るようにした薄膜ガスセンサ1とした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

貫通孔を有するSi基板と、この貫通孔の開口部に張られるダイアフラム様の熱絶縁支持層と、熱絶縁支持層上に設けられるヒーター層と、熱絶縁支持層およびヒーター層を覆うように設けられる電気絶縁層と、電気絶縁層上に設けられる一対の感知電極層と、一対の感知電極層を渡されるように電気絶縁層上に設けられるガス感応層と、を備え、前記ガス感応層は、SnO2層と、酸素供給性物質による酸素貯蔵層と、を交互に積層した積層構造による感応層であることを特徴とする薄膜ガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N 27/16

FI (1件)：

G01N27/16 B

Fターム (25件)：

2G060AA01 , 2G060AB17 , 2G060AB18 , 2G060AE19 , 2G060AF02 , 2G060AF07 , 2G060AG10 , 2G060AG15 , 2G060BA03 , 2G060BB02 , 2G060BB09 , 2G060BB12 , 2G060BB14 , 2G060BB16 , 2G060BB18 , 2G060HA01 , 2G060HB02 , 2G060HB03 , 2G060HB05 , 2G060HB06 , 2G060HC06 , 2G060HC18 , 2G060HD03 , 2G060HE02 , 2G060JA01

引用特許：

出願人引用 (3件)

薄膜ガスセンサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-184535 出願人：大阪瓦斯株式会社, 富士電機ホールディングス株式会社
薄膜ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-096951 出願人：富士電機株式会社
薄膜ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-096952 出願人：富士電機株式会社

審査官引用 (6件)

酸化物固溶体粒子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-314840 出願人：株式会社豊田中央研究所
半導体ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-070907 出願人：エフアイエス株式会社
特開昭63-067556

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