特許
J-GLOBAL ID：200903075718268236

リニアモータ、ステージ装置および露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者：
江本 圭司

江本 圭司 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 西山 恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-040170
公開番号（公開出願番号）：特開2002-247830
出願日： 2001年02月16日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：
【要約】【課題】 リニアモータの発熱の外部への流出を抑える。【解決手段】 本発明のリニアモータは、真空雰囲気内で用いられるリニアモータであって、固定子と、該固定子に対して相対的に移動する可動子と、該固定子と可動子のうちの少なくとも一方の表面に設けられた金属膜とを有することを特徴とする。これにより、輻射率を小さくすることができ、リニアモータからの輻射による熱の流出を軽減することができる。
請求項（抜粋）：
真空雰囲気内で用いられるリニアモータであって、固定子と、該固定子に対して相対的に移動する可動子と、該固定子と可動子のうちの少なくとも一方の表面に設けられた金属膜とを有することを特徴とするリニアモータ。
IPC (4件)：
H02K 41/02 ,  H01L 21/027 ,  H02K 9/19 ,  H02K 41/03
FI (5件)：
H02K 41/02 Z ,  H02K 9/19 A ,  H02K 41/03 A ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 541 L
Fターム (24件)：
5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5F056EA14 ,  5H609BB08 ,  5H609BB23 ,  5H609PP02 ,  5H609PP06 ,  5H609PP09 ,  5H609QQ05 ,  5H609QQ10 ,  5H609QQ23 ,  5H609RR32 ,  5H609RR58 ,  5H609RR74 ,  5H641BB06 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641HH03 ,  5H641HH06 ,  5H641JA05 ,  5H641JB04 ,  5H641JB05 ,  5H641JB09 ,  5H641JB10
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM