特許
J-GLOBAL ID：200903075749442358
搬送用ロボットシステムおよび搬送用ロボットの制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-207675
公開番号（公開出願番号）：特開2004-050306
出願日： 2002年07月17日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：
【課題】作業者がウェハ搬送のティーチング位置に接近することが出来ない場合でもティーチングが可能となる搬送用ロボットシステムおよび搬送用ロボットの制御方法を提供する。【解決手段】薄型形状を呈する物体を載置する載置部を有して物体を搬送するロボット1とロボット1を制御するロボットコントローラ9とを備える搬送用ロボットシステムにおいて、ロボットの載置部に搭載され撮像手段4を有する治具3と、撮像手段4により撮像された画像を処理する画像処理部8と、ロボットコントローラ9および画像処理部8を上位から制御する上位制御部10とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
薄型形状を呈する物体を載置する載置部を有して前記物体を搬送するロボットと前記ロボットを制御するロボットコントローラとを備える搬送用ロボットシステムにおいて、
前記ロボットの載置部に搭載され撮像手段を有する治具と、
前記撮像手段により撮像された画像を処理する画像処理部と、
前記ロボットコントローラおよび前記画像処理部を上位から制御する上位制御部と、
を備えることを特徴とする搬送用ロボットシステム。
IPC (3件)：
B25J9/22
, B25J13/08
, H01L21/68
B25J9/22 A
, B25J13/08 A
, H01L21/68 A
3C007AS03
, 3C007AS24
, 3C007BS15
, 3C007CT04
, 3C007CV07
, 3C007CW07
, 3C007JU08
, 3C007KS05
, 3C007KS07
, 3C007KT01
, 3C007KT04
, 3C007LS05
, 3C007LT06
, 3C007LT11
, 3C007MT01
, 3C007NS09
, 3C007NS13
, 5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA12
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031JA04
, 5F031JA29
, 5F031JA38
