圧電振動センサおよびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-011734
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201424
出願日： 1995年01月27日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】特性の優れた圧電振動センサを高歩留まりで工業的に量産する。【構成】圧電振動センサを構成するセラミック圧電基板1の表面に、前記基板の短手方向と長手方向とに交差するパターンで導電性材料の溶射膜突起2を形成する。溶射膜突起2は、例えばMo粉末を原料とするプラズマ溶射法で形成する。【効果】この圧電振動センサは、図1(a)に示すような溶射膜突起なため、この突起部において容器に狭持しても圧電基板の変形が抑制されにくくなり、その結果優れた感度特性の圧電振動センサが実現できる。

請求項（抜粋）：

セラミック圧電基板表面に、前記基板の短手方向と長手方向とに交差するパターンで導電性材料の溶射膜突起を形成した構造の前記圧電基板を、可とう性材料で形成した容器内に容器の締め付け変形で前記溶射膜を前記容器表面に食い込ませ狭持した圧電振動センサ。

IPC (7件)：

G01P 15/09 , C23C 4/12 , G01H 11/08 , G01L 1/10 , H01L 41/08 , H04R 17/00 , H04R 31/00

引用特許：

審査官引用 (7件)

可撓性圧電素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-356668 出願人：呉羽化学工業株式会社
特開平3-158451
特開平4-006261

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