特許
J-GLOBAL ID：200903075757097961

基板搬送装置及び基板処理装置

発明者：
小泉 浩

小泉 浩 について

, 
網倉 紀彦

網倉 紀彦 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-076105
公開番号（公開出願番号）：特開2004-288720
出願日： 2003年03月19日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
【課題】基板搬送装置を備えた気密構造の搬送室の周囲に複数の真空処理室を接続してなる装置において、装置のフットプリントを小さくすることができ、また大きな自由度で効率よく半導体ウエハを搬送すること。【解決手段】搬送室の中心の回りに旋回自在な実質同一構造の第1及び第2の多関節アームを設け、いずれの多関節アームも、旋回アームとウエハを保持する先端アームと、これら両アームの間に設けられた中段アームと、を含む構成とする。基板保持アームが直線運動をする通常の多関節アームでは、旋回アームの基端プーリと先端側の支持プーリとの歯数比が2:1で、中段アームの基端側の固定プーリと先端側の先端プーリとの歯数比が1:2であるが、前者の歯数比を例えば2.67:1に設定する。この場合第1及び第2の多関節アームの基板保持アームが互いに開くようにカーブを描いて前進し、伸びきったときに45度の開き角度になる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
旋回自在な第1の旋回アームと、基板を保持するための第1の基板保持部をなす第1の基板保持アームと、前記第1の旋回アーム及び第1の基板保持アームの間に設けられた第1の中段アームと、を含む第1の多関節アームと、 前記第1の旋回アームと旋回中心が共通である旋回自在な第2の旋回アームと、基板を保持するための第2の基板保持部をなす第2の基板保持アームと、前記第2の旋回アーム及び第2の基板保持アームの間に設けられた第2の中段アームと、を含む第2の多関節アームと、を備え、 第1及び第2の基板保持アームの移動軌跡は、前記旋回中心を通る水平な直線を挟んで左右に離れていることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L21/68 ,  B25J9/06 ,  B65G49/00 ,  B65G49/07
FI (4件)：
H01L21/68 A ,  B25J9/06 D ,  B65G49/00 A ,  B65G49/07 D
Fターム (27件)：
3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007BS26 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007DS08 ,  3C007HS27 ,  3C007HT02 ,  3C007HT16 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA03 ,  5F031GA48 ,  5F031GA50 ,  5F031LA13 ,  5F031LA14 ,  5F031MA04 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031NA07 ,  5F031PA30
引用特許：
審査官引用 (5件)
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