特許

J-GLOBAL ID：200903075763689862

非平面基板での結像用反射システム

発明者： 竹田 宣生
出願人/特許権者： ボール セミコンダクター インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-559475
公開番号（公開出願番号）：特表2002-520838
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2002年07月09日
要約：

【要約】球状半導体基板20等の非平面基板20又は非平面デバイスの表面に像を集束させ、隣接する像間の位置ずれや重複問題を実質的になくすシステム39及び方法。システム39は、リング10に配設された複数のミラー12、14、16、ミラーのリングに対して非平面基板20又は非平面デバイスを配置するために上下運動する支持体24を含む。非平面基板20又は非平面デバイスは、各ミラーが基板の表面に集束された像を反射できるように配置される。像はミラーのリングに対して配置されたマスク26を用いて生成され、非平面基板20又は非平面デバイスの表面に像を投影するように照明される。方法は、非平面基板20又はデバイスをミラーのリング内に配置するステップ、それぞれにステッチング相互接続84aがある複数のセグメント76、78を有するマスク26を作製するステップ、非平面基板20又は非平面デバイスの表面に像を反射させるように、ミラーのリングにマスク26の像を投影するステップとを含む。

請求項（抜粋）：

非平面基板の表面に像を投影するためのシステムであって、 リングに配設され、前記非平面基板の表面上に像を反射させるための複数のミラーと、 前記非平面基板の表面上に像を集束させるための集束手段と、 それぞれのミラーから前記非平面基板の表面上に集束された像を反射させるように、前記ミラーのリングに対して前記非平面基板の位置を決めるための、前記ミラーのリングの中心に対して往復運動する支持体と、 前記非平面基板の表面に前記像が投影されるように、前記ミラーのリングに対して配置された前記像を有するマスク とを備えることを特徴とするシステム。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 17/08 ,  G03F 7/24

FI (4件)：

G02B 17/08 Z ,  G03F 7/24 H ,  H01L 21/30 517 ,  H01L 21/30 502 Z

Fターム (7件)：

2H087KA21 ,  2H087TA01 ,  5F046BA05 ,  5F046CB03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA30

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 画像投射装置および方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-174227   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• デバイスの一部をマスクを介して直接露光し残りの部分は前記マスク及び反射面を介して間接的に露光してパターンを形成するデバイスの製造方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-526839   出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
• 露光装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-203218   出願人：キヤノン株式会社
• 半導体露光装置及び露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-366297   出願人：ボールセミコンダクターインコーポレイテッド, 株式会社川口光学産業