特許
J-GLOBAL ID：200903075776469942
情報記録媒体作製用原盤および情報記録媒体の各製造方法と露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-104991
公開番号（公開出願番号）：特開平11-306602
出願日： 1998年04月15日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 記録ピットを有する光ディスク等の情報記録媒体作製用原盤の記録ピット形成部の露光パターンの幅が、露光ビームのスポット径に制約されることを解決する。【解決手段】 記録ピットが形成された情報記録媒体を作製する原盤の製造方法であって、基板4上に塗布されたフォトレジスト層5に対して、1本以上の露光ビームを照射して、少なくとも1本の露光ビームを再生線速方向に対応する方向に対して交叉する方向に微小往復振動すなわちウォブリングさせてフォトレジスト層に照射し、目的とする記録ピット幅に対応する幅の露光部を形成する。そして、このフォトレジスト層の露光部を除去する現像処理を行って目的とする情報記録媒体作製用原盤を作製する。
請求項（抜粋）：
記録ピットが形成された情報記録媒体を作製する情報記録媒体作製用原盤の製造方法であって、基板上に塗布されたフォトレジスト層に対して、1本以上の露光ビームを照射して、少なくとも1本の露光ビームを再生線速方向に対応する方向に対して交叉する方向に微小往復振動させて照射し、目的とする記録ピット幅に対応する幅の露光部を形成する露光処理工程と、上記フォトレジスト層の露光部を除去する現像処理を行う現像処理工程とを経て上記原盤の作製を行うことを特徴とする情報記録媒体作製用原盤の製造方法。
IPC (4件)：
G11B 7/26 501
, G11B 7/00
, G11B 7/08
, G11B 7/24 561
G11B 7/26 501
, G11B 7/00 K
, G11B 7/08
, G11B 7/24 561 Q
