特許

J-GLOBAL ID：200903075785728217

シート状薄板部材の搬送治具およびこれを用いた供給取出し装置

発明者： 田原 典明 ,  原薗 講平 ,  皆藤 裕祥 ,  加藤 寛治 ,  竹下 弘行 ,  越智 昭夫 ,  高田 清明 ,  西尾 良一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-278375
公開番号（公開出願番号）：特開平11-116074
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】 たわみなどによる不具合の発生率が少なく、高速タクトで安定した搬送ができるシート状薄板部材の搬送治具、および供給取出し装置を提供することを目的とする。【解決手段】 金属材の角パイプを枠状に加工した本体2の上面および下面の平面部でシート状薄板部材1が載置でき、位置決めピン3でシート状薄板部材1の外周を位置決めし、また位置決め穴と嵌め合わせることにより複数積層できる搬送治具21より、前記搬送治具21の間に載置されたシート状薄板部材1の供給や取出しを長孔5を保持して行う分離保持部25と、搬送治具21の第1および第2の保管部、およびその間に配置された供給部24でなるシート状薄板部材の供給取出し装置であり、安定したシート状薄板部材1の搬送ができる。

請求項（抜粋）：

シート状薄板部材の外周部が載置される平面部、およびシート状薄板部材の外周を位置決め規制する凸部あるいは凹部を上面側に設けるとともに、前記凸部あるいは凹部が嵌まり込む凹部あるいは凸部を下面側に設け、かつ外周の側面の少なくとも対向する2面に係合部を設置した平面四角枠状に構成され、少なくとも片面の外周部を除く中央部に他の部材と積層される被積層面を有したシート状薄板部材を保持して搬送するシート状薄板部材の搬送治具。

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 基板搬送治具及び半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-148704   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭64-045531
  
• 基板カセット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-117933   出願人：富士通株式会社

審査官引用 (2件)

• 基板搬送治具及び半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-148704   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭64-045531