特許
J-GLOBAL ID:200903075837703188

ペースト塗布機とペースト塗布方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 武 顕次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-250415
公開番号(公開出願番号):特開2003-053238
出願日: 2001年08月21日
公開日(公表日): 2003年02月25日
要約:
【要約】【課題】 1枚の基板に複数のペーストパターンを塗布描画するに際し、パターンのコーナ部を高速で描画するに際しての振動の発生をなくす。【解決手段】 基板9上に形成するペーストパターンを縦線パターンSP-Yと横線パターンSP-Xとの直線パターンに分解し、夫々を別々に描画することにより、ペーストパターンのコーナ部のペースト塗布の作業をなくする。縦線パターンSP-Yと横線パターンSP-Xとの交差部XPでは、最初に縦線パターンSP-Yを塗布描画する場合、その交差部XPでペースト塗布量をそれ以外の直線部よりも少なくし、次に、横線パターンSP-Xを塗布描画する場合には、得られるペーストパターンでの交差部XPとそれ以外の直線部とでのペースト塗布量が等しくなるように、ペースト塗布を行なう。
請求項(抜粋):
ペースト吐出口を備えたノズルと、該ペースト吐出口に対向するように基板を載置するテーブルと、該テーブルまたは該ノズルを該基板の面に平行な方向に駆動するテーブル駆動機構と、該ノズルと該基板面との間の間隔を可変駆動するノズル駆動機構とを備えたペースト塗布機において、該基板上に塗布描画するペーストパターンのパターンデータを予め記憶保持する手段と、該パターンデータと該テーブル駆動機構からの情報による該ノズルの位置情報とに基づいて、該基板上での該ペーストパターンの交差部の位置を検出する手段と、該交差部での1回目のペースト塗布に際しては、該ノズル駆動機構を駆動することにより、該ノズルの該基板の面からの高さを、該交差部以外の直線部でペースト塗布する際の該ノズルの該基板の面からの高さよりも低くし、該交差部での2回目にペースト塗布に際しては、該ノズルの該基板の面からの高さを、該直線部でペースト塗布する際の該ノズルの該基板の面からの高さと略等しく設定する手段とを備えたことを特徴とするペースト塗布機。
IPC (5件):
B05C 5/02 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 ,  B05D 3/00 ,  B05D 7/24 301
FI (5件):
B05C 5/02 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 3/00 D ,  B05D 7/24 301 K
Fターム (26件):
4D075AC08 ,  4D075AC73 ,  4D075AC84 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075BB92Y ,  4D075CB33 ,  4D075DA06 ,  4D075DC21 ,  4D075EA14 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA21 ,  4F041BA56 ,  4F042AA06 ,  4F042AB00 ,  4F042BA06 ,  4F042BA08 ,  4F042BA25 ,  4F042CB03 ,  4F042CB10 ,  4F042DF01 ,  4F042DF11 ,  4F042DF26 ,  4F042ED05
引用特許:
出願人引用 (4件)
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