特許
J-GLOBAL ID：200903075886400131
プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-077896
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273543
出願日： 1995年04月03日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【目的】 サンドブラスト加工法により障壁を形成するに際し、障壁形成層の研削速度を速くするとともに、欠陥が発生することのないようにする。【構成】 ガラス基板1上に形成する障壁形成層を2層以上で構成する。?@下層3よりも上層4の方の樹脂含有率を高くする、?A下層3よりも上層4の方に柔軟性が大きく耐磨耗性の高い樹脂を使用する、?B下層3よりも上層4の方の空隙率を低くする、のうちの少なくとも1つの条件を満たすようにする。その上にレジストマスクを形成した後、レジストマスクの開口部に対応する障壁形成材料をサンドブラスト加工により除去する。その後、レジストマスクを剥離してから、焼成により障壁形成材料を焼結する。下層3は機械的強度が低いので研削速度が速くなり、また上層4はスプレー処理に対する耐水性があるのでレジストの現像工程や剥離工程におけるスプレー処理時に障壁が破壊されるのが防止される。
請求項（抜粋）：
無機粉体と低融点ガラス粉末を主成分とし、焼成により焼失し得る樹脂を少量含む障壁形成材料をインキ化したガラスペーストを塗布することにより基板上に障壁形成層を形成する工程と、障壁形成層上にレジストマスクを形成する工程と、レジストマスクの開口部に対応する障壁形成材料をサンドブラスト加工により除去する工程と、レジストマスクを剥離する工程と、焼成により障壁形成材料を焼結する工程とを含むプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法において、前記障壁形成層を2層以上で構成し、次の条件のうちの少なくとも1つを満たすようにしたことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法。(1)下層よりも上層の方の樹脂含有率を高くする。(2)下層よりも上層の方に柔軟性が大きく耐磨耗性の高い樹脂を使用する。(3)下層よりも上層の方の空隙率を低くする。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/24 B
, H01J 9/02 F
