特許
J-GLOBAL ID：200903075897006877
洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 千春 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-318450
公開番号（公開出願番号）：特開2003-117504
出願日： 2001年10月16日
公開日（公表日）： 2003年04月22日
要約：
【要約】【課題】 対流による内部循環型の洗浄装置において、洗浄効率のアップと被洗浄物の出し入れの容易化を実現する。【解決手段】 気密に密閉された洗浄槽1内に被洗浄物Wを収容し、洗浄槽1内で被洗浄物Wに超臨界CO2 を接触させることにより、被洗浄物Wを洗浄する装置において、洗浄槽1内の上部に冷却コイル2、下部に加熱コイル3を設けることで、対流によってCO2 が循環する循環流路を形成し、この循環流路のうち下降流路4の冷却コイル2の下側に被洗浄物Wを配置し、洗浄槽1の下部に、抽出した汚染物の滞留部8を設けた。
請求項（抜粋）：
気密に密閉された洗浄槽内に被洗浄物を収容し、洗浄槽内で被洗浄物に超臨界または亜臨界状態の洗浄用流体を接触させることにより、被洗浄物に付着または含浸した汚染物を抽出除去する洗浄装置において、前記洗浄槽内の上部に冷却手段、下部に加熱手段を設けることで、対流によって前記流体が循環する循環流路を形成し、この循環流路のうち下降流路の冷却手段の下側に被洗浄物の収容部を確保すると共に、洗浄槽の下部に、抽出した汚染物の滞留部を設けたことを特徴とする洗浄装置。
IPC (5件)：
B08B 3/10
, B01D 11/00
, B01J 3/00
, B08B 3/08
, H01L 21/304 641
B08B 3/10 Z
, B01D 11/00
, B01J 3/00 A
, B08B 3/08 Z
, H01L 21/304 641
3B201AA02
, 3B201AA03
, 3B201AB43
, 3B201BB04
, 3B201BB82
, 3B201BB87
, 3B201BB90
, 3B201BB98
, 4D056AB11
, 4D056AC24
, 4D056BA16
