認識画像創出方法および認識対象物の位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：江原省吾 , 田中秀佳 , 白石吉之 , 城村邦彦 , 熊野剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-178337
公開番号（公開出願番号）：特開2008-009627
出願日： 2006年06月28日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：

【課題】アナログ赤外線カメラによる対象物の認識画像を現状よりソフト上で鮮明化する認識画像創出方法。【解決手段】認識対象物の半導体ウエハ1をアナログ赤外線カメラ10でn回連続的に撮像する。1回目の撮像で得た原画像Aのヒストグラムとグレイスケール画像に基づいて認識すべき特定領域が強調される上限と下限のグレイ値を設定する。n回の撮像で得られたn個の原画像をリカーシブフィルタ処理してリカーシブ画像を得る。このリカーシブ画像を前記グレイ値によりグレイスケール処理して最終的な認識画像Dを得る。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

認識対象物をアナログ赤外線カメラで撮像した原画像のヒストグラムとグレイスケール画像に基づいて認識すべき特定領域が強調される上限と下限のグレイ値を設定する工程と、認識対象物をアナログ赤外線カメラで複数回撮像して得られた複数の原画像を重合加算するリカーシブフィルタ処理によりリカーシブ画像を得る工程と、前記リカーシブ画像を前記グレイ値によりグレイスケール処理して認識画像を創出する工程と、を有することを特徴とする認識画像創出方法。

IPC (2件)：

G06T 1/00 , G01B 11/00

FI (2件)：

G06T1/00 400D , G01B11/00 H

Fターム (22件)：

2F065AA03 , 2F065AA20 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065DD04 , 2F065DD09 , 2F065FF04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065NN20 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065QQ31 , 2F065QQ33 , 2F065QQ42 , 2F065QQ43 , 2F065UU05 , 5B047AA12 , 5B047AB02 , 5B047BA02 , 5B047DB01 , 5B047DC11

引用特許：

出願人引用 (1件)

マーク認識方法及び位置合わせ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-330756 出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (7件)

赤外線撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-283475 出願人：三菱電機株式会社
スペツクル画像変位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-170196 出願人：浜松ホトニクス株式会社
医用画像処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-292365 出願人：株式会社日立メディコ

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