サーマルインクジェットプリンタヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大菅義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-007685
公開番号（公開出願番号）：特開2001-191532
出願日： 2000年01月17日
公開日（公表日）： 2001年07月17日
要約：

【要約】【課題】電気絶縁性、耐キャビテーション性、耐ドライエッチング性、耐熱性、熱伝導性及び密着性のいずれにおいても良い特性を有する保護膜を発熱部と配線電極に備えたサーマルインクジェットプリンタヘッドを提供する。【解決手段】サーマルインクジェットプリンタヘッド24は、シリコン基板25表面のパッシベーション膜26の上に、発熱抵抗体膜27とその発熱部27-1、密着層28、共通電極29、個別配線電極31、保護膜32、第1隔壁35、第2隔壁36、及びオリフィス板37が積層され、オリフィス板37にはノズル38が形成されている。保護膜32はポリイミド又はエポキシ樹脂等の有機物33の中に、Al2 O3 、AlN、又はシリカ粒子等の無機物粒子34を混合して形成されている。

請求項（抜粋）：

複数の吐出ノズルと、該複数の吐出ノズルに夫々連通する複数のインク流路を区画する隔壁と、前記吐出ノズルに対応して配設された複数の発熱素子と、を有し、前記発熱素子でインクを加熱して気泡を発生させたときの圧力によりインクを前記吐出ノズルから所定方向に噴射するサーマルインクジェットプリンタヘッドであって、前記発熱素子の少なくともインクと接触する表面に無機物と有機物との混合物質からなる保護膜を形成したことを特徴とするサーマルインクジェットプリンタヘッド。

IPC (2件)：

B41J 2/05 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 B , B41J 3/04 103 H

Fターム (12件)：

2C057AF65 , 2C057AF66 , 2C057AF70 , 2C057AF93 , 2C057AG42 , 2C057AG46 , 2C057AP02 , 2C057AP32 , 2C057AP57 , 2C057AQ02 , 2C057BA04 , 2C057BA13

引用特許：

審査官引用 (7件)

インクジェット用被記録材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-046028 出願人：三菱製紙株式会社
インクジェット記録ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-143353 出願人：キヤノン株式会社
インクジェットヘッド及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-098074 出願人：セイコーエプソン株式会社

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