特許
J-GLOBAL ID：200903075978430126
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-153591
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002637
出願日： 1997年06月11日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 測定モードにかかわらず最適な測定を行うことができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 複数の測定モードを有する測定型プローブ顕微鏡1おいて、複数の信号増幅特性を有する検出信号増幅部3と、検出処理増幅部3の増幅信号を入力する信号処理部4を備えた構成とし、検出信号増幅部3による信号増幅を、測定モードに応じた信号増幅特性で行い、これによって、測定モードにかかわらず最適な測定を行う。検出信号増幅部3において、測定モードに対応して比例増幅器31と対数増幅器33を切り換え部33で切り換えることによって、信号増幅特性の切り換えを行う。
請求項（抜粋）：
複数の測定モードを有する測定型プローブ顕微鏡において、複数の信号増幅特性を有する検出信号増幅部と、前記検出処理増幅部の増幅信号を入力する信号処理部を備え、前記検出信号増幅部は測定モードに応じた信号増幅特性で信号増幅することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
