基板搬送装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：砂場哲郎 , 森川泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-321655
公開番号（公開出願番号）：特開2008-135630
出願日： 2006年11月29日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：

【課題】高真空状態下において、半導体基板等を複数の処理チャンバーにおいて効率よく搬送でき、プロセスチャンバーのフットプリントを大幅に縮小可能な基板搬送装置を提供する。【解決手段】真空環境2内に、回転駆動軸R4回りに旋回可能な第1アーム130と、第1アーム130に対して所定角度で回動する第2アームと、第2アームの先端で基板を把持可能なツインハンドとが配置された基板搬送装置であって、第1アーム、第2アーム、及びツインハンドを駆動する複数の駆動モータ21,22,23,24の駆動力を同軸配置された複数の各回転駆動軸R1,R2,R3,R4にそれぞれ伝達する伝達ベルト40,41,42,43により、第1アーム130、第2アーム、及びツインハンドは、第1アーム130が旋回中心点として旋回し、第2アームとによるアーム伸縮により所定位置に移動し、ツインハンドがチャンバー間での基板の受け渡しを行うようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

装置本体が大気中に位置し、該装置本体の蓋部を介して区画された真空環境内のトランスファーチャンバー内に、前記装置本体から突出した回転駆動軸回りに旋回可能な第1アームと、該第1アームに水平関節を介して連結され、第1アームからの回転駆動力により、前記第1アームに対して所定角度で回動する第2アームと、該第2アームの先端にそれぞれ独立して回動可能に連結され、その先端で基板を把持可能なツインハンドとが配置された基板搬送装置であって、前記第1アーム、第2アーム、及びツインハンドを駆動する複数の駆動手段と、該駆動手段の駆動力を同軸配置された複数の各回転駆動軸にそれぞれ伝達する伝達手段とが前記装置本体内に収容され、前記第1アーム、第2アーム、及びツインハンドは前記回転駆動軸に入力された回転駆動力により、前記第1アームが旋回中心点として旋回するとともに、前記第2アームとによるアーム伸縮により所定位置に移動し、前記第2アーム先端に連結されたツインハンドが前記トランスファーチャンバーに連設されたチャンバー間での前記基板の受け渡しを行うことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/677 , B65G 49/07 , B65G 49/06 , B25J 9/06

FI (4件)：

H01L21/68 A , B65G49/07 D , B65G49/06 Z , B25J9/06 E

Fターム (30件)：

3C007AS24 , 3C007BS15 , 3C007BS26 , 3C007BT14 , 3C007CT04 , 3C007CV07 , 3C007CW07 , 3C007HS27 , 3C007HT02 , 3C007HT16 , 3C007HT20 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA03 , 5F031GA32 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA50 , 5F031MA03 , 5F031MA04 , 5F031NA05 , 5F031NA20 , 5F031PA02 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-058338 出願人：株式会社安川電機

審査官引用 (4件)

ダブルアーム型基板搬送ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-341163 出願人：アシストジャパン株式会社
基板搬送装置及び基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-076104 出願人：東京エレクトロン株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-010451 出願人：東京エレクトロン株式会社

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