特許
J-GLOBAL ID：200903076117389920

基板保持具

発明者：
小田嶋 智

小田嶋 智 について

, 
野上 隆

野上 隆 について

, 
細野 則義

細野 則義 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-303576
公開番号（公開出願番号）：特開2005-072496
出願日： 2003年08月27日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】比較的単純な構造で、加工時と取り外し時の保持力を変化させることができ、基板を破損させる危険が少なく、繰り返し使用可能な基板保持具を提供する。【解決手段】支持体5上に、連続気泡を有する弾性体層3が形成され、さらにこの上に、密着保持層2が形成される。弾性体層3にはスペーサー4が内包されており、また、支持体5には弾性体層3の連続気泡と連通する孔6が設けられている。基板を取り外す際には、吸引テーブル7上に、基板20を伴った基板保持具1をセットし、支持体5に設けられた孔6を介して弾性層3中の空気を吸引すると、弾性層3は厚さ方向に体積収縮し、密着保持層2はスペーサー4に追従して変形し、基板20と密着保持層2との間に空隙8が形成され、密着は解除される。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板を密着保持する基板保持具であって、支持体と、該支持体上に形成された連続気泡を有する弾性体層と、該弾性体層上に形成された密着保持層とからなり、前記支持体は前記弾性体層の連続気泡と連通する孔を有し、前記弾性体層はスペーサーを内包していることを特徴とする基板保持具。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  B23Q3/08
FI (3件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/68 A ,  B23Q3/08 Z
Fターム (9件)：
3C016BA02 ,  3C016CE05 ,  3C016DA15 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA10 ,  5F031HA13
引用特許：
出願人引用 (3件)

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