特許
J-GLOBAL ID：200903076132253465

プローブとその製造方法とプローブを用いたコンタクト装置とその製造方法

発明者：
上田 亨

上田 亨 について

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大沢 健治

大沢 健治 について

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丸野 佳之

丸野 佳之 について


出願人/特許権者：
株式会社渕上ミクロ

株式会社渕上ミクロ について


代理人 (1件)： 尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-245100
公開番号（公開出願番号）：特開2007-057445
出願日： 2005年08月26日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：
【課題】 配線基板4上の配線膜10に接触子を成す金属製のプローブ6を配置したタイプのコンタクト装置のプローブ6の摩耗による被測定電子機器等の電極との電気的接続性の低下を生じないようにする。 【解決手段】 被測定体の電極と接するプローブ6は、第1の金属膜30の両面に貴金属、例えば金からなる第2の金属膜32、32を形成した積層金属構造体からなり、その平面パターン(形状)が、前記配線基板側の端部を成す基部34と、リング状の弾性部36と、を少なくとも有する。 このプローブ6は、配線基板4の配線膜10のプローブ接続領域12上に基部34にてプローブ接続用金属膜(例えば錫或いは半田)24を介して接続される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1の金属膜と貴金属からなる第2の金属膜とによる二層以上の積層金属構造体が構成され、 上記積層金属構造体が積層方向側から視て、一端部が配線基板側の端部を成し、他端部が被測定体電極側の端部を成すパターンに形成されてなる ことを特徴とするプローブ。
IPC (2件)：
G01R 1/067 ,  G01R 1/073
FI (2件)：
G01R1/067 C ,  G01R1/073 F
Fターム (6件)：
2G011AA21 ,  2G011AB00 ,  2G011AB01 ,  2G011AC14 ,  2G011AC31 ,  2G011AF07
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • コンタクトプローブ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-127981   出願人：富士写真フイルム株式会社
審査官引用 (3件)

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