特許
J-GLOBAL ID：200903076253343461

プラズマ処理装置および同装置により製造された半導体素子

発明者：
岸本 克史

岸本 克史 について

, 
福岡 裕介

福岡 裕介 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-006605
公開番号（公開出願番号）：特開2006-196681
出願日： 2005年01月13日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：
【課題】 放電空間が1つのチャンバー内に複数あり、それぞれの電極に均等に電力を導入することのできるプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】 反応容器としての密封可能なチャンバー3があり、その内部中央に、1つのアノード電極4がチャンバー3の底面に対して略垂直に配置されている。アノード電極4の左右両面には、被処理物であるガラス基板1,1が配置されている。カソード電極2,2へは、1個のプラズマ励起電源8により電力が供給される。電源8とチャンバー3との間には、カソード・アノード電極2,4および電源8の間のインピーダンスを整合する1個のマッチングボックス7が配設されている。電源8とマッチングボックス7とは1本の電力導入線10で接続されている。電力導入線10は、マッチングボックス7からカソード電極2までの間で2本に分岐され、分岐された部分からは対称に延びている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
反応性原料ガスが導入される密封可能なチャンバーと、チャンバー内に配設され、原料ガスを介してプラズマ放電させる複数の放電空間を形成する複数対のカソード・アノード電極と、チャンバー外に配設されたプラズマ放電用の電源と、チャンバー外に配設され、カソード・アノード電極および電源の間のインピーダンスを整合するマッチングボックスと、電源からマッチングボックスを経て各カソードまで延びる電力導入線とを備えてなり、 電力導入線は、マッチングボックスとカソードとの間で、カソードの数に対応した数に分岐されかつそれらが互いに対称状に延びていることを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205 ,  C23C 16/505 ,  H01L 31/04
FI (3件)：
H01L21/205 ,  C23C16/505 ,  H01L31/04 V
Fターム (24件)：
4K030BB05 ,  4K030CA04 ,  4K030CA06 ,  4K030FA03 ,  4K030JA18 ,  4K030KA30 ,  4K030LA15 ,  4K030LA16 ,  5F045AA08 ,  5F045AB03 ,  5F045AB04 ,  5F045BB03 ,  5F045CA13 ,  5F045CA15 ,  5F045CA16 ,  5F045DP11 ,  5F045DP20 ,  5F045EH01 ,  5F045EH14 ,  5F045EH15 ,  5F051AA05 ,  5F051CA07 ,  5F051CA15 ,  5F051CA21
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 米国特許第4,264,393号明細書
審査官引用 (4件)
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