ハイブリッドレーザ加工装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：神崎真一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-243726
公開番号（公開出願番号）：特開2007-054866
出願日： 2005年08月25日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【解決手段】被加工物2を保持する加工テーブル3をチャンバ4内に気密を保持した状態で収容し、このチャンバ4の上面に液柱Wを噴射すると共に当該液柱Wにレーザ光Lを導光する加工ヘッド9を固定する。上記チャンバ4には油回転ポンプ11と拡散ポンプ12とを並列に設けた排気手段5が接続されており、油回転ポンプ11を作動させた後に拡散ポンプ12を作動させることで、チャンバ4内を真空状態とする。チャンバ4内を真空状態とすることで、加工ヘッド9より噴射される液柱Wの周囲に気流が発生しなくなり、当該気流の乱れによる液柱Wの乱れを抑えることができる。【効果】径の細い液柱を安定した状態で噴射することが可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

噴射孔を有する加工ヘッドと、当該加工ヘッドに高圧の液体を供給する液体供給手段と、レーザ光を発振するレーザ発振器とを備え、上記液体供給手段から供給された液体を噴射孔から液柱にして外部に噴射させると共に、上記液柱にレーザ光を導光して、被加工物の加工を行うハイブリッドレーザ加工装置において、少なくとも加工ヘッドと被加工物との間に形成される空間を密閉するチャンバと、当該チャンバ内を真空状態にする排気手段とを備えることを特徴とするハイブリッドレーザ加工装置。

IPC (5件)：

B23K 26/08 , B23K 26/12 , B23K 26/14 , B23K 26/42 , B26F 3/00

FI (5件)：

B23K26/08 N , B23K26/12 , B23K26/14 Z , B23K26/42 , B26F3/00 G

Fターム (15件)：

3C060AA10 , 3C060CE03 , 3C060CE21 , 4E068AA03 , 4E068AE01 , 4E068AF01 , 4E068CA03 , 4E068CA04 , 4E068CA06 , 4E068CA13 , 4E068CE05 , 4E068CG02 , 4E068DA10 , 4E068DB01 , 4E068DB14

引用特許：

出願人引用 (10件)

レーザーによつて材料を加工する装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-500602 出願人：リヒエルツハーゲン,ベルノルト
ハイブリッド加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-143703 出願人：澁谷工業株式会社
特開昭64-064799

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審査官引用 (2件)

ハイブリッド加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-143703 出願人：澁谷工業株式会社
特開昭64-064799

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