特許
J-GLOBAL ID：200903076271944774

パターン転写装置,パターン転写方法および転写用原版の製造方法

発明者：
宮内 昭浩

宮内 昭浩 について

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李 燦

李 燦 について

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長谷川 満

長谷川 満 について

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林原 光男

林原 光男 について

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佐々木 洋

佐々木 洋 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-022679
公開番号（公開出願番号）：特開2002-224604
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月13日
要約：
【要約】【課題】本発明はパターン転写装置,パターン転写方法および転写用原版の構造と製造方法に係り、特に線幅が10マイクロメーター以下の微細なパターンを転写する装置や方法に関する。【解決手段】パターンが二次元面内に形成された原版と、パターンに媒体を充填させるスリットと転写用の媒体を供給する媒体溜めと、スリットに充填した媒体の圧力を調整する圧力調整機構と、被転写基板からなるパターン転写装置によって達成される。【効果】パターンを一括転写できるため、電子部品の製造を簡便にできる効果を得られる。
請求項（抜粋）：
被転写基板に二次元パターンを一括転写する装置において、パターンを有するスリットが形成された原版と、スリットに転写用の媒体を供給する媒体溜めと、スリットに充填した媒体の圧力を調整する圧力調整機構と、被転写基板からなることを特徴とするパターン転写装置。
IPC (9件)：
B05C 1/02 104 ,  B05C 5/02 ,  B05C 11/105 ,  B05D 1/26 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/318 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/208
FI (9件)：
B05C 1/02 104 ,  B05C 5/02 ,  B05C 11/105 ,  B05D 1/26 Z ,  H01L 21/288 Z ,  H01L 21/316 C ,  H01L 21/318 A ,  H01L 21/208 Z ,  H01L 21/88 B
Fターム (118件)：
4D075AC02 ,  4D075AC09 ,  4D075AC42 ,  4D075AC84 ,  4D075BB22Y ,  4D075BB36Y ,  4D075CA22 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC18 ,  4D075DC21 ,  4D075EB01 ,  4D075EC10 ,  4F040AA02 ,  4F040AA17 ,  4F040AB04 ,  4F040AC01 ,  4F040AC08 ,  4F040BA03 ,  4F040BA06 ,  4F040BA07 ,  4F040CA02 ,  4F040CA14 ,  4F040DA14 ,  4F040DA17 ,  4F041AA06 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA15 ,  4F041BA22 ,  4F041BA32 ,  4F041BA34 ,  4F041BA47 ,  4F041BA48 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042CA01 ,  4F042CA08 ,  4F042CB01 ,  4F042CB03 ,  4F042CB10 ,  4F042CB26 ,  4M104AA01 ,  4M104AA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104DD08 ,  4M104DD09 ,  4M104DD16 ,  4M104DD51 ,  4M104DD53 ,  4M104DD71 ,  4M104DD78 ,  4M104DD86 ,  4M104EE14 ,  4M104EE15 ,  4M104EE16 ,  4M104EE18 ,  4M104HH00 ,  4M104HH14 ,  5F033GG00 ,  5F033GG04 ,  5F033HH03 ,  5F033HH07 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH15 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033PP26 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ76 ,  5F033QQ78 ,  5F033RR02 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR05 ,  5F033RR09 ,  5F033RR21 ,  5F033SS25 ,  5F033SS26 ,  5F033SS27 ,  5F033VV15 ,  5F033XX00 ,  5F033XX03 ,  5F053BB60 ,  5F053DD01 ,  5F053DD20 ,  5F053FF01 ,  5F053HH10 ,  5F053PP03 ,  5F053RR05 ,  5F053RR13 ,  5F058BA20 ,  5F058BB07 ,  5F058BC03 ,  5F058BC09 ,  5F058BF47 ,  5F058BH03 ,  5F058BH04 ,  5F058BJ02
引用特許：
審査官引用 (9件)
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