特許
J-GLOBAL ID:200903076333796793

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中山 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-308495
公開番号(公開出願番号):特開2008-181087
出願日: 2007年11月29日
公開日(公表日): 2008年08月07日
要約:
【課題】保存時の粘度上昇が小さく、微細な線幅のパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含有し、バインダー樹脂(A)が、不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物(A1)と脂肪族多環式エポキシ化合物(A2)との共重合体である感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含有し、バインダー樹脂(A)が、不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物(A1)と脂肪族多環式エポキシ化合物(A2)との共重合体である感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/032 ,  G02F 1/133 ,  C08F 220/28
FI (3件):
G03F7/032 501 ,  G02F1/1339 500 ,  C08F220/28
Fターム (41件):
2H025AA02 ,  2H025AA11 ,  2H025AB14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC43 ,  2H025CA03 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H025CA30 ,  2H025CB30 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H089LA09 ,  2H089MA04X ,  2H089NA14 ,  2H089QA14 ,  2H089QA16 ,  2H089TA09 ,  2H089TA12 ,  4J100AJ01Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ09Q ,  4J100AK31Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA16Q ,  4J100BA28P ,  4J100BA51P ,  4J100BC12P ,  4J100BC43Q ,  4J100BC54P ,  4J100CA03 ,  4J100JA05 ,  4J100JA37
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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