特許
J-GLOBAL ID:200903076333796793
感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中山 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-308495
公開番号(公開出願番号):特開2008-181087
出願日: 2007年11月29日
公開日(公表日): 2008年08月07日
要約:
【課題】保存時の粘度上昇が小さく、微細な線幅のパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含有し、バインダー樹脂(A)が、不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物(A1)と脂肪族多環式エポキシ化合物(A2)との共重合体である感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含有し、バインダー樹脂(A)が、不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物(A1)と脂肪族多環式エポキシ化合物(A2)との共重合体である感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/032
, G02F 1/133
, C08F 220/28
FI (3件):
G03F7/032 501
, G02F1/1339 500
, C08F220/28
Fターム (41件):
2H025AA02
, 2H025AA11
, 2H025AB14
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC43
, 2H025CA03
, 2H025CA14
, 2H025CA28
, 2H025CA30
, 2H025CB30
, 2H025CB43
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H089LA09
, 2H089MA04X
, 2H089NA14
, 2H089QA14
, 2H089QA16
, 2H089TA09
, 2H089TA12
, 4J100AJ01Q
, 4J100AJ02Q
, 4J100AJ09Q
, 4J100AK31Q
, 4J100AK32Q
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100BA02P
, 4J100BA03P
, 4J100BA03Q
, 4J100BA16Q
, 4J100BA28P
, 4J100BA51P
, 4J100BC12P
, 4J100BC43Q
, 4J100BC54P
, 4J100CA03
, 4J100JA05
, 4J100JA37
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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