特許
J-GLOBAL ID：200903079634562746

感光性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法

発明者：
中野 嘉一郎

中野 嘉一郎 について

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前田 勝美

前田 勝美 について

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岩佐 繁之

岩佐 繁之 について

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長谷川 悦雄

長谷川 悦雄 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-166068
公開番号（公開出願番号）：特開平11-015160
出願日： 1997年06月23日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 遠紫外線に対して透明性に優れ、かつ遠紫外線の露光光に対して、高い感度および解像度を示す感光性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】 一般式(1)(1)(式中、R<SP>1</SP> ,R<SP>3</SP> ,R<SP>5</SP> は水素原子あるいはメチル基、R<SP>2</SP> は炭素数7から22の有橋環式炭化水素基、R<SP>4</SP> はエポキシ基を有する炭化水素基、x+y+z=1,0<x≦0.7,0≦y<1,0<z≦1を表す。)の繰り返し単位を有し、重量平均分子量が1000〜500000の重合体75〜99.8重量部と、光酸発生剤0.2〜25重量部とを含有する感光性樹脂組成物。この組成物は多官能エポキシ化合物を含有してもよい。この組成物を被加工基板上に塗布し、加熱したのち活性光線にて露光し、次いで加熱処理をした後現像してパターンを形成する。
請求項（抜粋）：
一般式(1)【化1】(1)(式中、R<SP>1</SP> ,R<SP>3</SP> ,R<SP>5</SP> は水素原子あるいはメチル基、R<SP>2</SP> は炭素数7から22の有橋環式炭化水素基、R<SP>4</SP> はエポキシ基を有する炭化水素基、x+y+z=1,0<x≦0.7,0≦y<1,0<z≦1である。)で表される繰り返し単位を有し、重量平均分子量が1000〜500000の重合体75〜99.8重量部と、光酸発生剤0.2〜25重量部とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/038 601 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/038 601 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
審査官引用 (8件)
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