特許
J-GLOBAL ID：200903076409025589

アライメント装置

発明者：
曳地 秀一

曳地 秀一 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (2件)： 本多 章悟 ,  樺山 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-071681
公開番号（公開出願番号）：特開2006-253602
出願日： 2005年03月14日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】アライメント露光を行う際に、露光手段で発生した熱を有効利用することができる構成のアライメント装置を提供する。【解決手段】アライメントマークを検出するアライメントマーク検出手段11と、露光用パターンが形成されたマスク13を固定するマスク固定手段12と、ウエハ15を固定するウエハ固定手段14と、ウエハ固定手段を載置したステージをX,Y,Z,θの各方向に移動するステージ移動手段17と、マスク13のパターンをウエハ15に露光する露光手段20aとを備えた構成のアライメント装置において、露光手段20aからの熱を移動するヒートパイプ31と熱電変換手段33と変換した電気を蓄電する蓄電手段44とを備えた。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
アライメントマークを検出するアライメントマーク検出手段と、露光用パターンが形成されたマスクを固定するマスク固定手段と、ウエハを固定するウエハ固定手段と、前記ウエハ固定手段を載置したステージをX,Y,Z,θの各方向に移動するステージ移動手段と、前記マスクのパターンを前記ウエハに露光する露光手段とを備えた構成のアライメント装置において、 前記露光手段からの熱を移動する手段と熱を電気に変換する手段と変換した電気を蓄電する蓄電手段とを具備したことを特徴とするアライメント装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (2件)：
H01L21/30 502H ,  G03F7/20 521
Fターム (9件)：
5F046AA22 ,  5F046CA02 ,  5F046DA04 ,  5F046DA09 ,  5F046DA26 ,  5F046DB02 ,  5F046DC01 ,  5F046DC02 ,  5F046DC12
引用特許：
出願人引用 (3件)

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