特許
J-GLOBAL ID：200903076414911163

ウエハ搬送装置及びその調整方法

発明者：
中島 守

中島 守 について

, 
高嶋 直樹

高嶋 直樹 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  伊坪 公一 ,  榎原 正巳 ,  小林 龍
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-026452
公開番号（公開出願番号）：特開2009-184069
出願日： 2008年02月06日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：
【課題】ウエハを所定方向に向いた回転軸を中心に旋回させかつ回転軸を中心とする径方向に往復動させることが可能なロボット部と、回転軸と直交するX方向へロボット部を移動させるロボット部移動手段と、を有するウエハ搬送装置において、ウエハが目標位置に搬送された時点でロボット部がウエハを移動させる径方向がX方向に正しく直交しているように、ウエハ搬送装置に対するティーチング作業における位置精度を高める。【解決手段】保持部10が保持する治具50を径方向(T)へ移動させた前後において、治具50の撮像手段51で目標位置に設けられたマーク28を撮像し、撮像画像上のマークの変位に基づいて、径方向(T)への移動に伴う治具50のX方向移動量を検出し、検出されるX方向移動量が所定値以下となるようにロボット部11のX方向位置を修正する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ウエハを保持する保持手段と、前記保持手段を所定方向に向いた回転軸を中心に旋回させかつ前記回転軸を中心とする径方向に往復動させることが可能なロボット部と、前記回転軸と直交する所定の1方向へ前記ロボット部を移動させるロボット部移動手段と、を有するウエハ搬送装置であって、 前記ウエハを搬送する目標位置に設けられた方向性を有するマークと、 前記保持手段によって保持された所定の治具からこの治具に設けられた撮像手段によって撮像された画像を取得するための、前記治具との間の入力インタフェースと、 前記保持手段に保持された前記治具を前記ロボット部により前記径方向に移動させた前後のそれぞれにおいて前記撮像手段で撮像した前記マークの画像間における前記マークの変位に基づいて、前記径方向への移動に伴う前記所定の1方向における前記治具の移動量を検出する移動量検出手段と、 前記移動量検出手段により検出される移動量が所定値以下となるように、前記所定の1方向における前記ロボット部の位置を定める位置決め手段と、 を備えることを特徴とするウエハ搬送装置。
IPC (3件)：
B25J 13/08 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/677
FI (3件)：
B25J13/08 A ,  H01L21/68 F ,  H01L21/68 A
Fターム (20件)：
3C007BS15 ,  3C007BT14 ,  3C007CT02 ,  3C007JU08 ,  3C007KT01 ,  3C007KT05 ,  3C007KV11 ,  3C007KX07 ,  3C007LT06 ,  3C007LT17 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031JA04 ,  5F031JA27 ,  5F031JA38 ,  5F031JA50 ,  5F031KA05
引用特許：
出願人引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM