特許
J-GLOBAL ID：200903076466163858
表面形状測定装置及び表面形状測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 慎史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-022987
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222508
出願日： 2002年01月31日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：
【要約】【課題】 振動等の高速移動を伴うマイクロマシン等が被測定物であってもその干渉縞を十分な感度で撮像素子により撮像することができる表面形状測定装置及び表面形状測定方法を提供する。【解決手段】 周期運動する被測定物14の運動周期に同期させて光源1から短パルス光を照射する。これにより、光を反射するときの被測定物14の状態は常に一定となるため、その反射光を重畳させて撮像素子10にて受光すれば十分な強度が得ることが可能になるので、振動等の高速移動を伴うマイクロマシン等が被測定物14であってもその干渉縞を十分な感度で撮像素子10により撮像することができる。
請求項（抜粋）：
周期運動する被測定物に照射するパルス光を発する光源と、前記パルス光の発光周期を前記被測定物の運動周期に同期させる発光同期手段と、前記パルス光による前記被測定物における反射光と所定の参照光との間で干渉縞を発生させる干渉光学系と、前記干渉縞を撮像して当該干渉縞の画像データである干渉縞データを出力する撮像素子と、前記被測定物の周期運動に伴う前記被測定物と前記干渉光学系との間隔の変化に合わせて前記干渉光学系の拡大倍率を可変とし、前記撮像素子による前記干渉縞の撮像位置における前記反射光の曲率と前記参照光の曲率とをほぼ一致させる拡大倍率可変手段と、前記干渉縞データに基づいて前記反射光の光軸方向の複数位置における前記被測定物の反射光の位相を示す位相データ及び振幅を示す振幅データを、キャリヤ周波数を与えた単一の前記干渉縞の干渉縞データから求める光学データ検出手段と、前記振幅データを用いて合焦状態を判定し、合焦法の原理により前記被測定物の表面形状のデータである第1の表面形状データを求める第1の表面形状データ作成手段と、前記位相データを用いて干渉計測の原理により前記被測定物の表面形状のデータである第2の表面形状データを求める第2の表面形状データ作成手段と、前記第1の表面形状データと前記第2の表面形状データとを合成又は比較して、前記被測定物の表面形状のデータである第3の表面形状データを求める合成又は比較手段と、を備える表面形状測定装置。
Fターム (20件)：
2F065AA51
, 2F065BB15
, 2F065CC00
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065FF10
, 2F065FF51
, 2F065GG06
, 2F065GG08
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL09
, 2F065LL12
, 2F065LL24
, 2F065LL46
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ24
, 2F065QQ31
