特許
J-GLOBAL ID：200903090549165898
干渉計及び形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-349534
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185529
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 入射光束の方向変更等の複雑な系を原理的に必要としない簡単な構成であって、且つ非球面等の傾斜変化の大きい被測定面においてもけられの問題を発生させないでより精密な測定を実現できる、干渉計と形状測定装置とを提供する。【解決手段】 被測定面8上の検出点の傾斜情報に応じて干渉光束中の被検出位置を変化させる手段77を設けた。
請求項（抜粋）：
被測定面の傾き情報に応じて干渉光束中の被検出位置を変化させることを特徴とする干渉計。
引用特許：
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