特許
J-GLOBAL ID:200903076535417514
赤外線センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
草野 卓
, 稲垣 稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-099923
公開番号(公開出願番号):特開2005-283435
出願日: 2004年03月30日
公開日(公表日): 2005年10月13日
要約:
【課題】 小型、高感度で時間応答性が高く、作製が簡易な赤外線センサを提供する。【解決手段】 赤外線を受光して電気信号に変換する赤外線検出素子43と、その赤外線検出素子43に赤外線を導く光学素子44とを具備し、光学素子44は回折格子を備えたプレーナ型光導波路とされて、基板41上に赤外線検出素子43と並置されて形成される。光学素子44により基板面と垂直方向から入射する赤外線49が光路変換され、基板面と平行方向に導波されて赤外線検出素子43に入射される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
赤外線を受光して電気信号に変換する赤外線検出素子と、その赤外線検出素子に赤外線を導く光学素子とを具備する赤外線センサであって、
上記光学素子は屈折率の異なる材料の配列を有する素子とされて、基板上に上記赤外線検出素子と並置されて形成され、
上記光学素子により上記基板面と垂直方向から入射する赤外線が光路変換され、基板面と平行方向に導波されて上記赤外線検出素子に入射される構造とされていることを特徴とする赤外線センサ。
IPC (4件):
G01J1/02
, G01J1/04
, H01L27/14
, H01L35/32
FI (5件):
G01J1/02 C
, G01J1/04 A
, H01L35/32 A
, H01L27/14 D
, H01L27/14 K
Fターム (25件):
2G065AB02
, 2G065BA11
, 2G065BA14
, 2G065BA38
, 2G065BB04
, 2G065BB11
, 2G065BB15
, 2G065BB17
, 2G065DA20
, 2G066AC13
, 2G066BA08
, 2G066BA25
, 2G066BA55
, 2G066CA20
, 4M118AA01
, 4M118AB10
, 4M118BA03
, 4M118CA16
, 4M118GA08
, 4M118GA09
, 4M118GA10
, 4M118GD11
, 4M118GD14
, 4M118HA23
, 4M118HA27
引用特許:
出願人引用 (2件)
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熱型赤外線イメージセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-009233
出願人:株式会社ニコン
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特許第3254787号公報
審査官引用 (5件)
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マイクロ・ボロメータ素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-136315
出願人:横河電機株式会社
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特開平1-259224
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特開平4-083208
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特開平1-259224
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特開平4-083208
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