特許
J-GLOBAL ID:200903076570214006
感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、プリント配線板の製造方法及び光硬化物の除去方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-161295
公開番号(公開出願番号):特開2009-003000
出願日: 2007年06月19日
公開日(公表日): 2009年01月08日
要約:
【課題】 感度、解像度及びレジストの剥離特性に特に優れたレジストパターンを得ることが可能な感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、プリント配線板の製造方法及び光硬化物の除去方法を提供する。【解決手段】 (A)酸の作用及び/又は130°C〜250°Cの熱によって分解可能な結合を有する不飽和二重結合含有化合物からなる構成単位を含むラジカル重合性ポリマー、(B)光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、プリント配線板の製造方法及び光硬化物の除去方法。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)酸の作用及び/又は130°C〜250°Cの熱によって分解可能な結合を有する不飽和二重結合含有化合物からなる構成単位を含むラジカル重合性ポリマー、(B)光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (7件):
G03F 7/033
, G03F 7/031
, G03F 7/004
, G03F 7/40
, G03F 7/42
, H05K 3/18
, H05K 3/06
FI (9件):
G03F7/033
, G03F7/031
, G03F7/004 512
, G03F7/40
, G03F7/42
, H05K3/18 D
, H05K3/06 C
, H05K3/06 H
, H05K3/06 J
Fターム (42件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA16
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025CA28
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025CB41
, 2H025EA08
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H025FA30
, 2H025FA48
, 2H096AA26
, 2H096BA05
, 2H096EA02
, 2H096GA08
, 2H096HA01
, 2H096HA03
, 2H096JA04
, 2H096LA02
, 5E339BD08
, 5E339BE11
, 5E339CC01
, 5E339CD01
, 5E339CE11
, 5E339CE16
, 5E339CF06
, 5E339CF16
, 5E339CF17
, 5E339CG03
, 5E339DD02
, 5E339DD04
, 5E343CC62
, 5E343DD32
, 5E343ER16
, 5E343ER18
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
光重合性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-046493
出願人:旭化成エレクトロニクス株式会社
-
青紫レーザー感光性組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-238699
出願人:三菱化学株式会社
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