特許
J-GLOBAL ID：200903028902399639

光重合性樹脂組成物

発明者：
岡田 祐二

岡田 祐二 について

, 
有久 慎司

有久 慎司 について


出願人/特許権者：
旭化成エレクトロニクス株式会社

旭化成エレクトロニクス株式会社 について


代理人 (4件)： 鳴井 義夫 ,  清水 猛 ,  伊藤 穣 ,  武井 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-046493
公開番号（公開出願番号）：特開2006-234995
出願日： 2005年02月23日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】 エッチングレジスト又はめっきレジスト等のレジスト材料として特に優れた高解像性と高密着性及びめっき液耐性を有し、更にレジスト剥離性にも優れた光重合性樹脂組成物を提供する事。【解決手段】 (A)カルボキシル基含有バインダー、30〜80質量%、(B)光重合可能なモノマー、15〜60質量%、(C)光重合開始剤、0.01〜20質量%を含有してなる光重合組成物であって、(A)カルボキシル基含有バインダーが、少なくとも下記一般式(I)で表されるモノマー、10〜40質量%、下記一般式(II)で表されるモノマー、10〜80質量%、及び下記一般式(III)で表されるモノマー、10〜80質量%を共重合した共重合体であり、かつ重量平均分子量が5,000〜500,000である事を特徴とするアルカリ現像可能な光重合性樹脂組成物を用いる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)カルボキシル基含有バインダー、30〜80質量%、(B)光重合可能なモノマー、15〜60質量%、(C)光重合開始剤、0.01〜20質量%を含有してなる光重合性樹脂組成物であって、(A)カルボキシル基含有バインダーが、少なくとも下記一般式(I)で表されるモノマー、10〜40質量%、下記一般式(II)で表されるモノマー、10〜80質量%、及び下記一般式(III)で表されるモノマー、10〜80質量%を共重合した共重合体であり、かつ重量平均分子量が5,000〜500,000である事を特徴とする光重合性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/029
FI (4件)：
G03F7/033 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/029
Fターム (20件)：
2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC43 ,  2H025BC82 ,  2H025BC83 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB55 ,  2H025FA17
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (4件)
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