特許
J-GLOBAL ID：200903076590157394

プラズマ発生電極及びプラズマ反応器

発明者：
藤岡 靖昌

藤岡 靖昌 について

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桝田 昌明

桝田 昌明 について

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近藤 厚男

近藤 厚男 について

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佐久間 健

佐久間 健 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について

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本田技研工業株式会社

本田技研工業株式会社 について


代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-365815
公開番号（公開出願番号）：特開2005-203362
出願日： 2004年12月17日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】互いに対向する単位電極相互間に、低い投入エネルギーで、安定なプラズマを発生させ、部分的に強い電界領域を均等に形成することが可能なプラズマ発生電極を提供する。【解決手段】互いに対向する二つ以上の単位電極2を備え、単位電極2相互間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極1であって、互いに対向する単位電極2のうちの少なくとも一方が、板状のセラミック誘電体3と、このセラミック誘電体3の内部に、その膜厚方向に所定の間隔を隔てた状態で配設された複数の導電膜4とを有し、単位電極2を構成する複数の導電膜4のうちの少なくとも一枚に、膜厚方向に貫通した複数の貫通孔5が形成されてなるプラズマ発生電極1。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
互いに対向する二つ以上の単位電極を備え、前記単位電極相互間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極であって、 互いに対向する前記単位電極のうちの少なくとも一方が、板状のセラミック誘電体と、前記セラミック誘電体の内部に、その膜厚方向に所定の間隔を隔てた状態で配設された複数の導電膜とを有し、前記単位電極を構成する複数の前記導電膜のうちの少なくとも一枚に、前記膜厚方向に貫通した複数の貫通孔が形成されてなるプラズマ発生電極。
IPC (6件)：
H05H1/24 ,  B01D53/94 ,  B01J19/08 ,  F01N3/02 ,  F01N3/08 ,  F01N9/00
FI (7件)：
H05H1/24 ,  B01J19/08 E ,  F01N3/02 301F ,  F01N3/08 C ,  F01N9/00 A ,  F01N9/00 Z ,  B01D53/36 101A
Fターム (42件)：
3G090AA06 ,  3G090BA08 ,  3G091AA02 ,  3G091AA18 ,  3G091AA28 ,  3G091AB04 ,  3G091AB14 ,  3G091AB16 ,  3G091BA00 ,  3G091BA14 ,  3G091BA15 ,  3G091BA19 ,  3G091BA39 ,  3G091CA21 ,  3G091DB10 ,  3G091GA06 ,  3G091GB01W ,  3G091GB01X ,  3G091GB05W ,  3G091GB06W ,  3G091GB07W ,  3G091GB10X ,  3G091GB16X ,  3G091HA07 ,  4D048AA06 ,  4D048AB02 ,  4D048BA03X ,  4D048BA30X ,  4D048CD10 ,  4G075AA01 ,  4G075BA10 ,  4G075CA25 ,  4G075DA02 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21 ,  4G075EE12 ,  4G075EE31 ,  4G075FA01 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04 ,  4G075FC11 ,  4G075FC15
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (10件)
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