感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野河信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-214852
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052572
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】パターン形成後に、膜減りがなく、基材の材質に影響されない感光性樹脂組成物を提供することを課題とする。【解決手段】有機溶媒に可溶なポリイミド樹脂、光重合性不飽和化合物、光重合開始剤及び有機溶媒を少なくとも含む感光性樹脂組成物であって、光重合性不飽和化合物がエポキシアクリレート又は1分子内に3つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリル酸系化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物により上記課題を解決する。

請求項（抜粋）：

有機溶媒に可溶なポリイミド樹脂、光重合性不飽和化合物、光重合開始剤及び有機溶媒を少なくとも含む感光性樹脂組成物であって、光重合性不飽和化合物がエポキシアクリレート又は1分子内に3つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリル酸系化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (11件)：

G03F 7/038 504 , C08F 2/44 , C08L 79/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 502 , G03F 7/027 515 , G03F 7/037 501 , G03F 7/09 501 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (11件)：

G03F 7/038 504 , C08F 2/44 C , C08L 79/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 502 , G03F 7/027 515 , G03F 7/037 501 , G03F 7/09 501 , G03F 7/40 501 , H01L 21/312 B , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平2-000639
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-190155 出願人：チッソ株式会社
特開平2-000870

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