感光性組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-188327
公開番号（公開出願番号）：特開平5-313371
出願日： 1992年07月15日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】短波長の紫外線等の露光に対して、高感度、高解像性を有し、且つパターン形成のプロセスを通じて安定性の高い感光性組成物を提供すること。【構成】アルカリ可溶性樹脂と、酸によって分解する置換基を有し分解後にアルカリ可溶性基を生じる化合物、または酸によって架橋する置換基を有する化合物と、下記一般式(1)で表される露光によって酸を発生する化合物とを含有することを特徴とする。【化1】式中、R11は1価の有機基、またはハロゲン原子、ニトロ基、およびシアノ基からなる群より選ばれた少なくとも1種が導入された1価の有機基を表す。R12、R13およびR14は、夫々独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、1価の有機基を表し、その少なくとも1個はシアノ基またはニトロ基である。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂と、酸によって分解する置換基を有し分解後にアルカリ可溶性基を生じる化合物、または酸によって架橋する置換基を有する化合物と、下記一般式(1)で表される露光によって酸を発生する化合物とを含有する感光性組成物。【化1】式中、R11は1価の有機基、またはハロゲン原子、ニトロ基、およびシアノ基からなる群より選ばれた少なくとも1種が導入された1価の有機基を表し、R12、R13およびR14は、夫々独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、1価の有機基、またはハロゲン原子、ニトロ基、およびシアノ基からなる群より選ばれた少なくとも1種が導入された1価の有機基を表す。

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 501 , G03F 7/028 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (7件)

特表平4-500698
特開平2-084648
特開昭60-070444

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