特許
J-GLOBAL ID:200903076754560136
窒化珪素焼結体及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
有賀 三幸 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-066074
公開番号(公開出願番号):特開平9-255431
出願日: 1996年03月22日
公開日(公表日): 1997年09月30日
要約:
【要約】【解決手段】 金属不純物が0.4重量%未満の金属珪素と焼結助剤からなる成形体を、該成形体と接触しないように酸化アルミニウム粉末を共存させ、窒化した後に焼結することにより得られる相対密度が97%以上の窒化珪素焼結体、及び金属不純物が0.4重量%未満の金属珪素と焼結助剤からなる成形体を、該成形体と接触しないように酸化アルミニウム粉末を共存させ、窒素雰囲気中で1200°C以上1500°C未満において窒化した後、1500〜2000°Cにおいて焼結する相対密度が97%以上の窒化珪素焼結体の製造方法。【効果】 高緻密質の窒化珪素焼結体が得られる。
請求項(抜粋):
金属不純物が0.4重量%未満の金属珪素と焼結助剤からなる成形体を、該成形体と接触しないように酸化アルミニウム粉末を共存させ、窒化した後に焼結することにより得られる相対密度が97%以上の窒化珪素焼結体。
IPC (2件):
C04B 35/591
, C04B 35/584
FI (2件):
C04B 35/58 102 V
, C04B 35/58 102 D
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開昭56-134568
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窒化ケイ素の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-311672
出願人:電気化学工業株式会社
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窒化珪素反応焼結体の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-304750
出願人:本田技研工業株式会社
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