液晶表示装置用電極基板の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-190821
公開番号（公開出願番号）：特開平10-039289
出願日： 1996年07月19日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】ブラックマトリクスとして遮光性樹脂を用いた薄膜トランジスタ方式液晶表示装置用電極基板において、透明導電膜成膜時、メタルマスクとブラックマトリクスの接触によりブラックマトリクス額縁部に発生するキズや汚れを防止する。【解決手段】(1)メタルマスクの開口部の端部に段差をつけ、ブラックマトリクスの額縁部と接触しないようにする。また、(2)メタルマスクの作製時に用いるフォトレジストをそのまま残し、メタルマスクがブラックマトリクスの額縁部と直接接触しないようにする。

請求項（抜粋）：

ブラックマトリクスとして遮光性樹脂を用いた薄膜トランジスタ方式液晶表示装置用電極基板の製造方法において、透明導電膜のマスク成膜の際に用いるメタルマスクの開口部の端部に段差をつけ、該端部がブラックマトリクスの額縁部と接触しないようにしたことを特徴とする液晶表示装置用電極基板の製造方法。

IPC (4件)：

G02F 1/1335 500 , G02B 5/00 , G02F 1/1343 , G02F 1/136 500

FI (4件)：

G02F 1/1335 500 , G02B 5/00 B , G02F 1/1343 , G02F 1/136 500

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭62-164865
スパッタ用治具
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-239217 出願人：大日本印刷株式会社
ステンシル露光マスク
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-160253 出願人：凸版印刷株式会社

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