特許
J-GLOBAL ID：200903076865220253

ペレットピックアップ方法及びピックアップ装置

発明者：
喜多村 章司

喜多村 章司 について

, 
木林 茂樹

木林 茂樹 について


出願人/特許権者：
キヤノンマシナリー株式会社

キヤノンマシナリー株式会社 について


代理人 (6件)： 江原 省吾 ,  田中 秀佳 ,  白石 吉之 ,  城村 邦彦 ,  熊野 剛 ,  山根 広昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-346953
公開番号（公開出願番号）：特開2006-156806
出願日： 2004年11月30日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：
【課題】 エキスパンドされたシート上のペレットをニードルレスのピックアップユニットで能率よくピックアップする。【解決手段】 エキスパンド機構のステージ1上で伸縮性シート3を放射状に伸展させて、シート3上の複数のペレット5を1枚ずつニードルレス式ピックアップユニット20の揺動アーム22でピックアップする方法と装置で、カメラ25でシート3上のペレット5を撮像し、撮像した画像信号を制御回路部30で演算処理する機能と、揺動アーム22をアーム回転部40で180°回転可能に支持する機能を有し、ペレットピックアップ動作の途中で適宜に制御回路部30からの制御信号に基づいて揺動アーム22を180°反転させてペレットピックアップ動作を継続させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
エキスパンド用ステージ上で放射状に伸展させた伸縮性シート上の複数のペレットを1枚ずつ、前記シートの下からニードルレス式ピックアップユニットの揺動アームで押し上げてシートより剥がすピックアップ方法であって、 前記シートに対して前記ピックアップユニットの揺動アームをシートと平行な方向で回転可能に配備し、前記揺動アームが揺動してシートからペレットを剥がす際に前記ステージと干渉しないように、前記揺動アームを適宜に回転させることを特徴とするペレットピックアップ方法。
IPC (3件)：
H01L 21/67 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/301
FI (3件)：
H01L21/68 E ,  H01L21/52 F ,  H01L21/78 Y
Fターム (14件)：
5F031CA13 ,  5F031DA15 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA23 ,  5F031HA78 ,  5F031JA04 ,  5F031JA32 ,  5F031JA51 ,  5F031MA40 ,  5F031PA30 ,  5F047FA01 ,  5F047FA08
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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