特許

J-GLOBAL ID：200903076881199930

有機EL素子の製造装置および製造方法

発明者： 田辺 宏 ,  中谷 賢司 ,  大久 和寿 ,  荒 健輔 ,  荒井 三千男
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-368029
公開番号（公開出願番号）：特開平11-195485
出願日： 1997年12月27日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】 リーク電流の発生を抑制でき、比較的大きな面積の基板に対応し、有機EL素子を効率よく量産することのできる有機EL素子の製造装置および製造方法を実現する。【解決手段】 有機EL素子が形成される基板2と、蒸発源4とを有し、前記蒸発源4の開口部4aと前記基板2の中心とを結ぶ線の、前記基板面に対する角度θが、60°以下であって20°以上となる位置に蒸発源4を配置し、蒸着を行うことにより、ステップカバーレージを良好とし、リーク電流の発生などを抑制する。

請求項（抜粋）：

有機EL素子が形成される基板と、蒸発源とを有し、前記蒸発源の開口部の中心と前記基板の中心とを結ぶ線が、前記基板面に対して60°以下であって20°以上となる位置に蒸発源を配置した有機EL素子の製造装置。

IPC (4件)：

H05B 33/10 ,  H01L 21/203 ,  H01L 51/00 ,  H05B 33/14

FI (4件)：

H05B 33/10 ,  H01L 21/203 Z ,  H05B 33/14 A ,  H01L 29/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 発光装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-347927   出願人：イーストマンコダックカンパニー
• 有機エレクトロ・ルミネッセンス表示装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-147313   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 多色発光装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-251027   出願人：出光興産株式会社
• 有機電界発光装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-286465   出願人：東レ株式会社