光学式変位測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊丹勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-115577
公開番号（公開出願番号）：特開2005-300306
出願日： 2004年04月09日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：

【課題】小型化を実現できる光学式変位測定装置を提供する。【解決手段】スケール9の一方の側部15側に光源3が、スケール9の他方の側部17側に反射部5が、それぞれ配置されている。反射部5において、光源3からの光Lが斜め下に反射され、光学格子31を介してスケール9の光学格子7に照射される。ここで光は反射されて、第1受光部35で受光される。光源3の光の一部の光成分L1は光源3側から、スケール9の参照信号用マーク67に入射し、ここで反射されて第2受光部69で受光される。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源からの光を反射する反射部と、前記反射部からの光が照射されることにより明暗パターンを生成する反射型の光学格子が設けられた測定軸方向に延びるスケールと、前記光源及び前記反射部と共に前記スケールの一方の面側に配置されており、前記光源及び前記反射部と一緒に前記スケールに対して前記測定軸方向に相対移動しながら前記光学格子で生成された明暗パターンを受光して、前記相対移動の量に対応した第1出力信号を出力する第1受光部と、前記スケールには参照信号用マークが設けられており、前記参照信号用マークを介して前記光源からの光を受光して第2出力信号を出力する第2受光部と、を備えることを特徴とする光学式変位測定装置。

IPC (2件)：

G01D5/38 , G01D5/36

FI (5件)：

G01D5/38 A , G01D5/36 K , G01D5/36 T , G01D5/36 U , G01D5/36 X

Fターム (17件)：

2F103BA28 , 2F103BA32 , 2F103CA01 , 2F103CA03 , 2F103CA04 , 2F103DA01 , 2F103DA12 , 2F103EA01 , 2F103EA17 , 2F103EB02 , 2F103EB03 , 2F103EB16 , 2F103EB21 , 2F103EB32 , 2F103EC03 , 2F103EC11 , 2F103ED02

引用特許：

出願人引用 (6件)

光学式エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-087699 出願人：富士電機株式会社
特許第6497049号
光学式変位検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-131999 出願人：株式会社ミツトヨ

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審査官引用 (5件)

特許第6497049号
光学式変位検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-131999 出願人：株式会社ミツトヨ
光電位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-222955 出願人：レオポルト・コスタール・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンデイトゲゼルシヤフト

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