特許

J-GLOBAL ID：200903076906829560

複合構造物作製方法

発明者： 伊藤 朋和 ,  清原 正勝 ,  鳩野 広典 ,  森 勝彦 ,  吉田 篤史 ,  山口 香織里 ,  明渡 純
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  東陶機器株式会社
代理人 (1件)： 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-077991
公開番号（公開出願番号）：特開2003-213451
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：

【要約】【課題】 微粒子を含むエアロゾルを基材に高速で吹き付けて複合構造物を作成するにあたり、長時間安定して生産性よく複合構造物を作製する方法と装置を提供する。【解決手段】 PZT微粒子を内臓したエアロゾル発生器103内に窒素ガスボンベ101より搬送管102を通じて窒素ガスを導入し、エアロゾル発生器103を作動させてPZT微粒子を含むエアロゾルを発生させ、このエアロゾルを搬送管102を通じてガス加熱装置104に導入し、更にエアロゾルをガス加熱装置104内で所定の温度に加熱し、保温機能付き搬送管105を介して構造物作製室106内に設置されたノズル107から基材109に向けて高速で微粒子ビームとして噴射させると同時に基材109をXYステージ111によって3分間揺動させて10mm×3mmの面積を有する複合構造物を形成する。また、微粒子ビームの温度は熱電対108で検知する。

請求項（抜粋）：

脆性材料の微粒子をガス中に分散させたエアロゾルをノズル先端から基材に高速で吹き付けて基材上に脆性材料微粒子からなる構造物を形成する複合構造物を作製方法であって、前記ノズル先端から噴射されるエアロゾルの温度を室温より高く制御することを特徴とする複合構造物の作製方法。

IPC (2件)：

C23C 24/08 ,  C23C 24/04

FI (2件)：

C23C 24/08 C ,  C23C 24/04

Fターム (12件)：

4K044AA03 ,  4K044AA06 ,  4K044AA11 ,  4K044AA12 ,  4K044AA16 ,  4K044BA01 ,  4K044BA11 ,  4K044BA12 ,  4K044BA21 ,  4K044BB01 ,  4K044CA23 ,  4K044CA24

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 耐摩耗性に優れる軟質非鉄金属部材および軟質非鉄金属部材の表面改質方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-075001   出願人：トーカロ株式会社
• 複合構造物の作製方法および作製装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-310585   出願人：経済産業省産業技術総合研究所長, 東陶機器株式会社