超精密加工用スラリー及び超精密加工用ペースト

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山田靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-360417
公開番号（公開出願番号）：特開平5-156239
出願日： 1991年12月06日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：

【要約】【目的】粒子の分離及び沈降が非常に少なく、溶液中またはペースト状基剤中に長時間粒子を浮遊または分散させることができ、数ナノメータまたはそれ以下の超精密ラッピング加工の可能な超精密加工用スラリー及び超精密加工用ペーストを提供する。【構成】粒径が100オングストローム以下の丸味を帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターを純水等の水性溶液またはオリーブオイル等の油性溶液に分散させた超精密加工用スラリーまたはエチレングリコール等のペースト状基剤に分散させた超精密加工用ペーストにある。

請求項（抜粋）：