特許
J-GLOBAL ID：200903076997112808

薄板円板状ワークの両面研削方法および装置

発明者：
大倉 健司

大倉 健司 について


出願人/特許権者：
光洋機械工業株式会社

光洋機械工業株式会社 について


代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-111056
公開番号（公開出願番号）：特開2002-307303
出願日： 2001年04月10日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：
【要約】【課題】 研削時にワークが曲がることがなく平坦度等の高いワークを得ることのできるようにする。【解決手段】 端面の円形研削面同士が対向するとともに軸方向に相対的に移動しうるように配置されて回転させられる1対の研削砥石2A、2Bと、薄板円板状ワークWの両面の加工面が前記1対の研削砥石2A、2Bの研削面にそれぞれ対向するようにワークWの両面の加工面を研削砥石2A、2Bの研削面の間に支持して自転させるワーク自転手段3と、平坦な状態からのワークWの曲がりを検出する曲がり検出手段6A、6Bと、ワークWの曲がりに基づいて砥石2A、2Bの位置を制御する制御手段とを備えている。
請求項（抜粋）：
複数の薄板円板状ワークを1枚ずつかつ連続して研削する薄板円板状ワークの両面研削方法において、円形研削面同士が対向するとともに軸方向へ相対的に移動しうるように配されて回転させられる一対の研削砥石間に、ワークの両面の加工面を、加工面が前記一対の研削砥石の研削面にそれぞれ対向するように支持し、研削砥石を自転させつつ軸方向へ相対的に移動させて砥石によりワークを挟んだ状態でワークの両面を研削する方法であって、研削終了後のワークに曲がりが生ずることなく平坦となる砥石切込完了時の砥石研削面の最適位置を決定するステップと、各ワークの砥石切込完了時における曲がり量を検出するステップと、各ワークの曲がり量が所定の量を超えた場合に、次のワークにおける砥石切込完了時の研削面の位置が最適位置になるよう砥石の位置を調整するステップとを備えた薄板円板状ワークの両面研削方法。
IPC (4件)：
B24B 49/03 ,  B24B 7/17 ,  B24B 49/08 ,  H01L 21/304 621
FI (4件)：
B24B 49/03 Z ,  B24B 7/17 Z ,  B24B 49/08 ,  H01L 21/304 621 A
Fターム (8件)：
3C034AA08 ,  3C034AA13 ,  3C034BB94 ,  3C034CA05 ,  3C043BC06 ,  3C043CC04 ,  3C043CC11 ,  3C043EE04
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM