特許

J-GLOBAL ID：200903077007683977

ネガ型感放射線性樹脂組成物

発明者： 西川 耕二 ,  木村 徹 ,  岩永 伸一郎
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (4件)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-087521
公開番号（公開出願番号）：特開2005-274920
出願日： 2004年03月24日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：

【課題】 バンプあるいは配線などの厚膜のメッキ造形物を精度よく形成することができる製造方法、この製造方法に好適な感度、解像度などに優れるネガ型感放射線性樹脂組成物、および該組成物を用いた転写フィルムを提供する。【解決手段】 (A)下記一般式(1)および/または(2)で表される構造単位を含有する重合体、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および(C)感放射線性ラジカル重合開始剤を含有するネガ型感放射線性樹脂組成物およびこの組成物を用いたネガ型感放射線性樹脂膜を製造する。 【化1】【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)および/または(2)で表される構造単位を含有する重合体、 (B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および (C)感放射線性ラジカル重合開始剤 を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F7/033 ,  C08F20/18 ,  C08F20/58 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G03F7/033 ,  C08F20/18 ,  C08F20/58 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/40 521 ,  H01L21/30 502R

Fターム (29件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025CB42 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  2H025FA43 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA27 ,  4J100AL08P ,  4J100AM21P ,  4J100BA03P ,  4J100BC43P ,  4J100CA01 ,  4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 感放射線性樹脂組成物、バンプ形成用および配線形成用材料ならびにドライフィルムレジスト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-209235   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-040301   出願人：ジェイエスアール株式会社

審査官引用 (3件)

• ネガ型感光性組成物、ネガ型感光性平版印刷版及びその現像方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-336624   出願人：コニカ株式会社, 三菱化学株式会社
• カラーフィルターレジスト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-009768   出願人：三菱化学株式会社
• 着色感光性樹脂組成物、これを用いる転写材料、カラーフィルター、フォトマスク及び画像形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-175606   出願人：富士写真フイルム株式会社