特許

J-GLOBAL ID：200903077013858789

セラミック部品

発明者： 石田 弘徳 ,  梅津 基宏 ,  塩貝 達也
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-228385
公開番号（公開出願番号）：特開2003-040686
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】 熱サイクルに曝される環境下で使用しても給電端子の脱落や内部電極との導通不良が発生しない信頼性の高いセラミック部品を提供する。【解決手段】 金属製の給電端子と、この給電端子の一部が収容される孔と内部電極を備えているセラミック部品であって、前記給電端子が前記孔の底面で前記内部電極にろう付け固着されていることを特徴とするセラミック部品。

請求項（抜粋）：

金属製の給電端子と、この給電端子の一部が収容される孔と内部電極を備えているセラミック部品であって、前記給電端子が前記孔の底面で前記内部電極にろう付け固着されていることを特徴とするセラミック部品。

IPC (4件)：

C04B 37/02 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/02

FI (4件)：

C04B 37/02 B ,  H01L 21/68 R ,  H05B 3/02 B ,  H01L 21/30 572 A

Fターム (25件)：

3K092PP20 ,  3K092QC02 ,  3K092QC21 ,  3K092QC52 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092VV31 ,  3K092VV40 ,  4G026BA03 ,  4G026BA16 ,  4G026BB26 ,  4G026BB28 ,  4G026BF16 ,  4G026BF24 ,  4G026BG02 ,  4G026BG23 ,  4G026BH06 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA17 ,  5F031HA19 ,  5F031PA30 ,  5F046MA12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 金属部材とセラミックス部材との接合構造およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-322570   出願人：日本碍子株式会社
• ウエハ保持装置の給電構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-348266   出願人：京セラ株式会社