特許

J-GLOBAL ID：200903077100919417

角速度センサおよびその製造方法

発明者： 勝間田 卓 ,  伊藤 岳志 ,  樋口 祐史 ,  荻野 睦人 ,  森島 哲矢
出願人/特許権者： 株式会社デンソー ,  株式会社日本自動車部品総合研究所
代理人 (3件)： 伊藤 洋二 ,  三浦 高広 ,  水野 史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-260603
公開番号（公開出願番号）：特開2007-263941
出願日： 2006年09月26日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】2つの振動子の出来映えバラツキによって外部加速度に起因した出力が発生することを抑制できるようにする。【解決手段】左側振動子3の左半分側に位置する駆動用の固定電極30に対して印加する駆動電圧と、右側振動子4の右半分側に位置する駆動用の固定電極40に対して印加する駆動電圧とを第1電圧として、該第1電圧を、直流成分がA[V]で交流成分がB[V]となるA±B[V]の電圧とする。左側振動子3の右半分側に位置する駆動用の固定電極30に対して印加する駆動電圧と、右側振動子4の左半分側に位置する駆動用の固定電極40に対して印加する駆動電圧とを第2電圧として、該第2電圧を、直流成分がC[V]で交流成分がD[V]となるC±D[V]の電圧とする。そして、第1、第2電圧の直流成分となる定電圧A、Cに関して、加速度が印加されたときのセンサ出力が最も小さくなる値とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

支持基板(2)と、 前記支持基板(2)上において、前記支持基板(2)に支持されるように形成され、前記支持基板(2)における基板面と水平方向に変位可能となっている駆動用の可動電極(31、41)と角速度検出用の可動電極(38、48)とを有する可動部(31、34、35、36、38、41、44、45、46、48)と、 前記支持基板(2)上において、前記支持基板(2)に固定されて支持され、前記駆動用の可動電極(31、41)に対向する駆動用の固定電極(30、40)と、前記角速度検出用の可動電極(38、48)に対向する角速度検出用の固定電極(37、47)とを有する固定部(30、38、40、48)と、を備えた1対の左右振動子(3、4)を含み、 前記左側振動子(3)と前記右側振動子(4)は共に、これら左右振動子(3、4)を構成する各構成要素が左半分と右半分とで対称となる左右対称構造で構成されており、 前記左右振動子(3、4)それぞれにおける前記駆動用の固定電極(30、40)と前記駆動用の可動電極(31、41)との間に駆動電圧を印加することにより、前記可動部の少なくとも一部(31、34、41、44、)を前記支持基板(2)における前記基板面と水平な一方向に振動させると共に、 前記可動部の少なくとも一部(31、34、41、44、)に対して角速度が印加されたときに、この角速度によって発生するコリオリ力によって前記可動部の少なくとも一部(31、34、41、44)を前記振動方向と垂直な一方向に振動させることで、前記角速度検出用の可動電極(38、48)および固定電極(37、47)との間に形成される容量を変化させ、この容量の変化に基づいて前記角速度に応じたセンサ出力を発生させるように構成された角速度センサであって、 前記左側振動子(3)における左半分側に位置する前記駆動用の固定電極(30)に対して印加する前記駆動電圧と、前記右側振動子(4)における右半分側に位置する前記駆動用の固定電極(40)に対して印加する前記駆動電圧とを第1電圧とすると、該第1電圧は、直流成分がA[V]で交流成分がB[V]となるA±B[V]の電圧であり、 前記左側振動子(3)における右半分側に位置する前記駆動用の固定電極(30)に対して印加する前記駆動電圧と、前記右側振動子(4)における左半分側に位置する前記駆動用の固定電極(40)に対して印加する前記駆動電圧とを第2電圧とすると、該第2電圧は、直流成分がC[V]で交流成分がD[V]となるC±D[V]の電圧であり、 前記第1電圧における交流成分となるB[V]と前記第2電圧における交流成分となるD[V]とは、互いに逆位相となっており、さらに、 a.前記左側振動子(3)と前記右側振動子(4)とが逆位相で駆動するように、前記第1電圧の直流成分となるAと前記第2電圧の直流成分となるCとのうち少なくとも一方を変化させる、 b.前記左側振動子(3)と前記右側振動子(4)とが逆位相で駆動するように、前記第1電圧の交流成分となるBと前記第2電圧の交流成分となるDとのうち少なくとも一方を変化させる、 c.前記左側振動子(3)と前記右側振動子(4)とが逆位相で駆動するように、前記第1電圧および前記第2電圧が矩形波とされ該矩形波のデューティ比の中心値に対して前記第1電圧および前記第2電圧のデューティ比のうち少なくとも一方を変化させる、 の少なくとも1つの調整が為されていることを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

Fターム (6件)：

2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体力学量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-127419   出願人：株式会社デンソー

審査官引用 (2件)

• 角速度センサおよびその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-252270   出願人：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-359835   出願人：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所